[发明专利]一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法在审
| 申请号： | 201310694320.7 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103692336A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘子骥;梁志清;蒋亚东;黎威志 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;G01J5/10 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 用于 热释电 探测器 钽酸锂 晶片 方法 | ||
1.一种制备用于热释电探测器的钽酸锂晶片的方法，其特征在于，包括：
将预定厚度的钽酸锂晶片置于浸泡溶液中进行浸泡处理；
清洗浸泡处理后的所述钽酸锂晶片；
将清洗后的所述钽酸锂晶片用粘合剂沾到工装上；
将沾了所述钽酸锂晶片的所述工装固定到驱动盘上；
驱动所述驱动盘旋转，用研磨材料对所述钽酸锂晶片进行研磨；
清洗研磨之后的所述钽酸锂晶片；
用抛光材料对所述钽酸锂晶片进行抛光处理。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将预定厚度的钽酸锂晶片置于浸泡溶液中进行浸泡处理包括：
将所述钽酸锂晶片置于乙醇溶液中进行浸泡处理；
将所述钽酸锂晶片只有丙酮溶液中进行浸泡处理。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将沾了所述钽酸锂晶片的所述工装固定到驱动盘上的步骤之前还包括：用清洗混合溶液清洗所述工装的表面。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述清洗混合溶液为乙醇和乙醚混合溶液，其中所述乙醇和乙醚混合溶液中乙醇和乙醚的体积比为2:1。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述用研磨材料对所述钽酸锂晶片进行研磨的步骤包括：
用粗磨材料对所述钽酸锂晶片进行粗磨处理；
用精磨材料对经过了粗磨处理之后的所述钽酸锂晶片进行精磨处理。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于：所述粗磨材料为W14的绿碳化硅水溶液，其中所述W14的绿碳化硅水溶液中的W14的绿碳化硅的质量浓度为10%。
7.如权利要求5所述的方法，其特征在于：所述精磨材料为W10的绿碳化硅水溶液，其中所述W10的绿碳化硅水溶液中W10的绿碳化硅的质量浓度为10%。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述抛光材料为W0.5的氧化铬水溶液，其中所述W0.5的氧化铬水溶液中W0.5的氧化铬的质量浓度为10%。
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