[发明专利]一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的装置及方法

权利要求书

1.一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的装置，其特征在于：包括有用于放置三倍频晶体的二维平移台、相对三倍频晶体发射端设置的紫外分光装置、相对紫外分光装置小部分激光能量输出端设置的紫外光滤光片、顺次设置于紫外光滤光片后端的紫外透镜和紫外激光功率检测装置，以及与紫外激光功率检测装置连接的自动控制模块；且所述的自动控制模块与二维平移台连接。

2.根据权利要求1所述的一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的装置，其特征在于：所述的二维平移台上设置有晶体温度控制装置。

3.根据权利要求1所述的一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的装置，其特征在于：所述的控制模块包括有依次连接的网络滤波器、模数转换器和数据处理器组成，所述的网络滤波器与紫外激光功率检测装置连接，所述的数据处理器与二维平移台连接。

4.一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的方法，其特征在于：包括有以下步骤：

（1）、首先将三倍频晶体放置于二维平移台上，然后激光器进行工作；

（2）、经过激光器的三倍频晶体出射的紫外激光由紫外分光装置分为两束，其中绝大部分激光能量作为激光器的输出光输出，一小部分能量依次经过紫外光滤光片滤掉其它波段的杂散光；

（3）、经过紫外光滤光片的紫外激光再经过紫外透镜后由紫外激光功率检测装置检测，紫外激光功率检测装置的输出信号送入自动控制模块；

（4）、当紫外激光功率检测装置输出信号的激光功率小于自动控制模块中的预先设定的参数，自动控制模块控制二维平移台实施换点操作。

5.根据权利要求1所述的一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的方法，其特征在于：所述的二维平移台采用减速微型步进电机、音圈电机或者纳米电机驱动；所述的二维平移台可以在垂直光传播方向的平面内做二维移动，当二维平移台在该平面内作水平移动时，三倍频晶体跟随二维平移台沿水平方向运动，达到在水平方向上换点的目的；当二维平移台在该平面内作竖直方向运动时，三倍频晶体跟随二维平移台沿竖直方向运动，达到在竖直方向上换点的目的。

6.根据权利要求1所述的一种固体紫外激光器三倍频晶体自动换点的方法，其特征在于：所述的紫外激光功率检测装置采集过来的模拟信号通过滤波网络器和模数转换器采样后传输给数据处理器，紫外激光功率检测装置采集信号的实际功率值与数据处理器中预设的激光功率值做比较：（1）、当采样所得功率值小于数据处理器中预设的功率值时，数据处理器将发出指令将控制二维平移台移动到下一个换点位置，紫外激光功率检测装置再次采样实时功率，当实时功率值大于预设值时完成换点操作；（2）、当采样的实际功率值大于数据处理器中预设的功率值时，紫外激光功率检测装置和自动控制模块继续进入下一个采样循环。