[发明专利]一种真空紫外灯的在线自清洁方法有效
| 申请号： | 201310690976.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN104707816B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;谢园园;陈平;花磊;侯可勇;赵无垛;陈文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;G01N27/64 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 刘阳 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 紫外 在线 清洁 方法 | ||
1.一种真空紫外灯的在线自清洁方法，其特征在于在线清洁，由以下步骤组成：
A.首先，打开样品气（1）和两通阀（6），利用精密质量流量计（13）调节样品气流量，样品气（1）通过石英毛细管（7）进入电离区（8）；
B.其次，打开补偿气（3）和两通阀（5），利用精密质量流量计（12）调节样品气流量，补偿气（3）通过石英毛细管（7）进入电离区（8）；
C.高压点亮真空紫外灯（VUV灯）（10），在步骤B的条件下连续在线监测样品信号强度变化趋势；
D.打开清洁气（2）和两通阀（4），调节精密质量流量计（11）和（12），使电离区（8）气压与步骤C中的气压一致，多余气通过出气口（9）流出；
E.在步骤D条件下连续在线监测样品强度的变化趋势。
F.在线监测后，关闭清洁气（2）和两通阀（4），调节精密质量流量计（12），使电离区（8）气压与步骤C中的气压一致。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
补偿气（3）与清洁气（2）的混合气和样品气（1）流量大于石英毛细管（7）的进样量，多余气随管道排出。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
所用清洁气（2）为高纯氢气或氢气与惰性气体的混合气，补偿气（3）是高纯氧气或高纯氮气。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
在线监测过程中，一路进样品气（1），一路进清洁气（2）和补偿气（3）的混合气，清洁气（2）和补偿气（3）不影响样品气（1）的分析检测。
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