[发明专利]磁控管以及磁控管溅射设备

权利要求书

1.一种磁控管，其特征在于，包括：

支撑板；以及

磁体，设置成从垂直于所述支撑板的表面的旋转中心轴线朝向边缘扩展的螺旋形状，

其中所述磁体被划分为多个扇形区，且在相应的扇形区内以均等间隔形成弧，以及

其中所述多个扇形区中的仅一者的中心位于所述旋转中心轴线上，且中心位于所述旋转中心轴线上的所述扇形区的中心角小于180度。

2.一种磁控管，其特征在于，包括：

支撑板；以及

磁体，设置成从垂直于所述支撑板的表面的旋转中心轴线朝向边缘扩展的螺旋形状，

其中所述磁体被划分为中心角是90度的四个扇形区，且在相应的扇形区内以均等间隔形成弧，以及

其中所述四个扇形区中的仅一者的中心位于所述旋转中心轴线上。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管，其特征在于，所述支撑板是磁性金属板。

4.根据权利要求3所述的磁控管，其特征在于，所述磁性金属板由马氏体不锈钢所形成。

5.根据权利要求1或2所述的磁控管，其特征在于，所述磁体以一种方式设置，使得一对具有不同极性的第一磁体和第二磁体交替地环绕所述旋转中心轴线，且间隙形成在所述第一磁体与所述第二磁体之间以将所述第一磁体和所述第二磁体彼此分离。

6.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁体位于最外部分中。

7.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体是具有相同宽度的带。

8.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁体的一端设置在最外部分处，同时环绕所述第二磁体的最外端，其中所述间隙将所述第一磁体与所述第二磁体分离。

9.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁体是正极且所述第二磁体是负极。

10.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述旋转中心轴线位于所述第一磁体和所述第二磁体中的一者的内端上。

11.根据权利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述间隙形成为具有螺旋环状的闭合轨道。

12.根据权利要求11所述的磁控管，其特征在于，所述轨道经过自身四次或四次以上。

13.根据权利要求11所述的磁控管，其特征在于，所述轨道被划分为多个扇形区，在所述相应的扇形区内以均等间隔形成弧，且所述多个扇形区中的仅一者的中心位于所述旋转中心轴线上。

14.根据权利要求1或2所述的磁控管，其特征在于，相应的扇形形状具有不同的中心，且在所述相应的扇形区内以均等间隔形成弧的磁体设置成切向地连接到邻近的扇形区的所述磁体。

15.根据权利要求1或2所述的磁控管，其特征在于，所述相应的扇形形状具有不同的中心，且在所述相应的扇形区内具有均等间隔的所述弧是分别将所述中心作为其中心点的同心弧。

16.一种磁控管溅射设备，其特征在于，包括：

支撑单元，在腔室中支撑衬底；

标靶单元，面向所述支撑单元而安装；以及

磁控管，位于所述标靶单元后方且经配置以围绕所述标靶单元的中心而旋转，

其中所述磁控管是如权利要求1或2所述的磁控管。

17.根据权利要求15所述的磁控管溅射设备，其特征在于，所述标靶单元包括将沉积材料提供给所述衬底的标靶以及在所述标靶的后表面上设置的背板。