[发明专利]一种真空镀膜生产线用监控系统

权利要求书

1.一种真空镀膜生产线用监控系统，用于监控镀膜生产系设备的工作状态，其特征在于：该系统包括显示模块、处理模块、数据存储模块、通讯接口模块、数据转换模块、以及分布在生产线上的各监控部件；

所述显示模块连接所述处理模块，所述处理模块连接所述数据存储模块，所述数据存储模块通过所述通讯接口模块与所述数据转换模块连接；所述数据转换模块通过现场总线，与分布在生产线上的各监控部件通信；

所述数据转换模块通过所述现场总线对所属监控部件中的数据进行采集，并进行格式转化，以形成统一的数据并通过所述通讯接口模块发送至所述数据存储模块；所述数据存储模块用于存储传送来的数据；所述处理模块读取所述数据存储模块中的数据并处理，然后发送至所述显示模块显示。

2.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述监控部件主要包括位置监控组件和速度监控组件；所述位置监控组件对至少一台设备是否运行到指定位置进行判断；所述速度监控组件对至少一台设备的运行速度进行识别判断。

3.如权利要求2所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述位置监控组件为光电信号感应装置。

4.如权利要求3所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述位置监控组件为红外光电感应器。

5.如权利要求3所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述速度监控组件为速度感应器。

6.如权利要求5所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述监控系统还包括一控制系统；所述控制系统与速度监控系统无线连接，对反馈回来的速度信号经过判断识别后，传给控制系统，控制系统再发出相应指令，监控系统接受指令后对设备的运行速度进行控制。

7.如权利要求3所述的真空镀膜生产线用监控系统，其特征在于：所述真空镀膜生产线包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室；所述光电信号感应装置分别安装于上述七个腔室的进、出口处，所述运输车上至少设有两组不同的光电信号装置，分别作为运输车减速控制，以及运输车停止控制。