[发明专利]靶材缝隙清洁装置和方法在审
| 申请号： | 201310686918.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103639153A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邢宏伟;穆慧慧;吴斌;张鹤群 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缝隙 清洁 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材缝隙清洁装置，其特征在于，包括：
靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。
2.根据权利要求1所述的靶材缝隙清洁装置，其特征在于，还包括：
封闭罩，所述靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器设置于所述密封罩中。
3.根据权利要求2所述的靶材缝隙清洁装置，其特征在于，
所述封闭罩为U型结构，所述U型结构的内侧为开放空间。
4.根据权利要求1或2所述的靶材缝隙清洁装置，其特征在于，
所述封闭罩由橡胶材料制成。
5.根据权利要求1所述的靶材缝隙清洁装置，其特征在于，
所述靶材正面吹气单元连接有第一通气管道，所述靶材侧面吹起单元连接有第二通气管道，所述第一通气管道和第二通气管道分别设置有气阀。
6.一种靶材缝隙清洁方法，其特征在于，包括：
向靶材正面的缝隙吹气；
向靶材第一侧面的缝隙吹气；
从靶材第二侧面的缝隙吸取粉尘，所述第一侧面为与所述第二侧面相对的面。
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