[发明专利]一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置在审
| 申请号: | 201310683499.6 | 申请日: | 2013-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN104711668A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
| 发明(设计)人: | 潘燕萍 | 申请(专利权)人: | 常州市天龙光电设备有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
| 地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 三爪卡托单晶炉 坩埚 取出 装置 | ||
1.一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆,其特征在于:所述提升滑套设在提升杆外部,提升杆与提升滑套可相对滑动,所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构,所述组成卡托机构的托板顶部两边设有拉杆,拉杆顶端设有拉杆横杆,连接杆与拉杆横杆上面中间设置的凸起活动铰接,托板顶端中间设有与支臂活动铰接的凸起,所述提升杆上部外壁周向设有三个均布的第一铰接凸起,提升滑套外壁周向设有三个均布的与提升杆第一铰接凸起方向对应的第二铰接凸起,进一步的组成卡托机构的连接杆与提升杆上部的第一铰接凸起铰接,组成卡托机构的支臂与提升滑套的第二铰接凸起铰接,更进一步的所述托板、支臂和连接杆组成的卡托机构数量为三个,每个组成卡托机构的连接杆和支臂均与对应的第一交接凸起、第二铰接凸起铰接。
2.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,其特征在于:所述三个第一交接凸起和三个第二铰接凸起各自之间的夹角均为120°,进一步的三个卡托机构的中心线之间的夹角均为120°。
3.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,其特征在于:所述组成卡托机构的托板为三分之一段圆弧形拱板,三个卡托机构合拢后三个托板可组成底部中间空心的托盘。
4.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,其特征在于:所述组成卡托机构的支臂为竖直臂和水平臂组成的直角型,支臂水平臂前端与托板铰接,支臂竖直臂低端与第二铰接凸起铰接。
5.根据权利要求1或4任意一项所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,其特征在于:所述组成卡托机构的支臂竖直臂设有护板,所述护板为三分之一段弧形板,三个卡托机构合拢后三个护板组成圆形护板。
6.根据权利要求1所述的一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,其特征在于:所述卡托机构合拢后托板底部到支臂水平臂的距离大于单晶炉坩埚的高度。
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