[发明专利]一种用于彩色薄膜太阳电池表面涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201310677870.8 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103966565A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨培志;段良飞;杨雯;张力元;自兴发 | 申请（专利权）人： | 云南师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650500 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 彩色 薄膜 太阳电池 表面 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于彩色薄膜太阳电池表面涂层的制备方法，其特征是：“采用不同掺杂浓度的ZnO:B靶材为原料，利用磁控溅射镀膜系统在衬底温度为室温~300℃的平板玻璃上以不同的本底真空、气体流量、溅射气压、溅射功率及溅射时间制备出不同掺杂浓度、不同厚度的ZnO:B薄膜；结合N2气氛中进行快速退火处理；通过控制退火温度、时间、升温降温速率，可制备出不同晶粒尺寸、晶化率的ZnO:B薄膜；ZnO:B薄膜的掺杂浓度、厚度、晶粒尺寸及晶化率改变后，其折射率、反射率等光学参数会改变，用于薄膜太阳电池作为透明导电氧化膜可赋予薄膜太阳电池表面不同色彩，从而制备出彩色薄膜太阳电池。
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