[发明专利]一种光刻式的3D打印机有效

专利信息
申请号: 201310676063.4 申请日: 2013-12-11
公开(公告)号: CN103631097A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 马驰飞;王楠;陈昌龙;高洪涛;陈铭勇;严伟;胡松 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 孟卜娟
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 打印机
【权利要求书】:

1.一种光刻式的3D打印机,其特征在于:该3D打印机有五个子系统:光源系统、图像系统、投影系统、机械系统和电控系统,所述光源系统发出多束独立的平行光,通过所述图像系统的反射得到带有图像信息的光束,所述投影系统将光束成像到固定的曝光面,使曝光面附近的一层光刻胶固化,固化的光刻胶由所述机械系统夹持移动,通过在垂直于曝光面的方向上的移动完成三维扫描,最终得到三维实体,整个系统由所述电控系统统一控制。

2.根据权利要求1所述的一种光刻式的3D打印机,其特征在于:所述的光源系统包括LED光源(8)、平行光管(7)和扩束镜(6),光源系统中LED光源(8)发出的发散光经平行光管(7)后分为多束各自独立的各个方向的平行光,经扩束镜(6)扩大光束的照明截面,其中平行光管(7)的分光作用由内置的光纤束或者积木蝇眼透镜产生。

3.根据权利要求1所述的一种光刻式的3D打印机,其特征在于:所述的图像系统采用DMD器件(3),图像系统核心部件即为所述DMD器件(3),用于产生曝光的图像,它放置于4f系统(5)的像面上,通过调节各个像素点的反射微镜的角度产生曝光图像。

4.根据权利要求1所述的一种光刻式的3D打印机,其特征在于:所述的投影系统包括4f系统(5)和平面反射镜(9),投影系统中,DMD器件(3)和光刻杯(11)内底面分别位于4f成像系统(5)的物面和像面上;4f系统(5)由前后两个透镜组构成,在两透镜组之间的频谱面上根据实际需求可放置光瞳滤波器,并在系统工作前进行调节,以满足打印任务所要求的像质和焦深。

5.根据权利要求1所述的一种光刻式的3D打印机,其特征在于:所述的机械系统包括杯架(10)、光刻杯(11)、打印基底(12)、丝杠(13),杯架与光刻杯同心,其支撑面的中心镂空,使曝光光束可以穿过杯架照射到光刻杯内底面,并在镂空处加工一个与光刻杯直径匹配的沉孔,用于放置并固定光刻杯;打印基底由丝杠旋转的传动作用沿丝杠轴向作平移运动。

6.根据权利要求1所述的一种光刻式的3D打印机,其特征在于:所述的电控系统包括电源模块(1)、电机控制电路(2)、DMD控制电路(4)、光栅尺(14)、驱动电机(15)和计算机,电控系统中,电机控制电路(2)和DMD控制电路(4)完成的都是单步的控制动作,3D打印机工作时的流程由计算机向控制发送控制命令来控制。

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