[发明专利]一种微位移传感器标定装置

权利要求书

1.一种微位移传感器标定装置，其特征在于，包括调整架（1）、压电驱动器（2）和标定基准组件（4）；

所述压电驱动器（2）固定在所述调整架（1）上，所述压电驱动器（2）驱动调整架（1）的运动杆（106）运动，所述标定基准组件（4）固定在所述调整架（1）上，所述标定基准组件（4）与待标定微位移传感器（3）同时测量所述运动杆（106）的输出位移量。

2.根据权利要求1所述的一种微位移传感器标定装置，其特征在于，所述调整架（1）包括调整架外框（101）、外侧连杆（102）、内侧连杆（103）、上连杆（104）、下连杆（105）和运动杆（106）；所述调整架外框（101）分别通过两个外侧连杆（102）与上连杆（104）和下连杆（105）连接，所述运动杆（106）分别通过两个内侧连杆（103）与上连杆（104）和下连杆（105）连接，所述外侧连杆（102）与上连杆（104）、下连杆（105）和调整架外框（101）通过柔性铰链（107）连接，所述内侧连杆（103）与上连杆（104）、下连杆（105）和运动杆（106）通过柔性铰链（107）连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种微位移传感器标定装置，其特征在于，所述调整架（1）为一体式结构，整体关于调整架（1）的运动杆（106）长轴对称，所述调整架（1）通过慢走丝线切割或者电化学腐蚀加工。

4.根据权利要求2所述的一种微位移传感器标定装置，其特征在于，压电驱动器（2）固定在调整架外框（101）上，驱动运动杆（106）运动，所述标定基准组件（4）固定在所述调整架外框（101）上，所述标定基准组件（4）与安装在所述调整架外框（101）上的待标定微位移传感器（3）同时测量所述运动杆（106）的输出位移量。

5.根据权利要求1所述的一种微位移传感器标定装置，其特征在于，所述标定基准组件（4）包括光栅尺（401）、光栅尺读数头（402）和读数头支架（403），所述光栅尺（401）粘接固定在运动杆（106）上，所述光栅尺读数头（402）通过销钉固定在读数头支架（403）上，所述读数头支架（403）通过螺钉固定在调整架外框（101）上，所述读数头与所述运动杆（106）的运动方向垂直，所述光栅尺读数头（402）通过测量光栅尺（401）运动得到的数据作为输出位移量的基准数据。