[发明专利]用于修改表面形貌的方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于修改表面形貌的方法和系统。

背景技术

在各种工业中，衬底经常需要于在衬底上执行处理操作之前被支撑在衬底支撑上。这样的工业的例子为印刷业、半导体制造业以及其它薄层材料制造业。

在印刷业在中，通常于在衬底上执行印刷之前将衬底固定在衬底支撑上。在工业印刷系统中，衬底经常通过使用真空基衬底支撑来固定到衬底支撑上，该衬底支撑具有和真空泵流体连通的真空孔的布置。

真空基的衬底支撑通常根据它们意图在一起的衬底的特性来设计。比如，意图固定轻重量柔性衬底的衬底支撑可以具有少量的横跨衬底支撑分布的真空孔，然而，意图固定较重重量刚性衬底的衬底支持可具有更多数目的横跨衬底支撑分布的较大的真空孔。真空孔的大小也可基于意图与衬底支撑一起使用的衬底类型来选择。

当将固定不同衬底的混合时，通用目的的衬底支撑可设计成提供在不同要求之间的折中。然而，这种设计经常具有缺点。

此外，使用小于衬底支撑的衬底产生的问题在于，在真空孔没有被衬底覆盖时，这会导致真空压力的普遍损失，可导致噪音的增加，并可能会具有其它不合意的结果。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种修改衬底支撑的表面形貌的方法，包括：确定衬底支撑的表面形貌；获得衬底支撑的想要的表面形貌；基于确定的表面形貌和想要的表面形貌来生成图像；以及在衬底支撑上印刷生成的图像。

根据本发明的另一个方面，提供了一种印刷系统，包括：成像模块，以确定衬底支撑的三维表面形貌；以及控制器，以：基于衬底支撑的确定的表面形貌和想要的表面形貌来生成图像；以及直接在衬底支撑上印刷生成的图像。

根据本发明的还有另一个方面，提供了一种衬底支撑，在所述衬底支撑上已经印刷和固化了可印刷流体，以将衬底支撑的原始表面形貌修改成想要的表面形貌。

附图说明

仅仅借助于非限制性例子，现在将参照附图来描述本发明的例子或实施例，在其中：

图1是根据一个例子的衬底支撑的平面图；

图2是根据一个例子的衬底支撑的一部分的截面视图；

图3是根据一个例子的衬底支撑的一部分的平面图；

图4是根据一个例子的、在其上部署了刚性衬底的衬底支撑的一部分的截面视图；

图5是根据一个例子的、在其上部署了柔性衬底的衬底支撑的一部分的截面视图；

图6是根据一个例子的、示出了想要的形貌的衬底支撑的一部分的截面视图；

图7是根据一个例子的衬底支撑的一部分的平面图；

图8是根据一个例子的、示出了想要的形貌的衬底支撑的一部分的截面视图；

图9是根据一个例子的衬底支撑的一部分的平面图；

图10是根据一个例子的衬底支撑的平面图；

图11是根据一个例子的、示出了想要的形貌的衬底支撑的一部分的截面视图；

图12是根据一个例子的衬底支撑的一部分的平面图；

图13是根据一个例子的、示出印刷系统的图示的框图；

图14是根据一个例子的、画出操作印刷系统的示例方法的流程图；

图15是根据一个例子的、示出印刷系统的图示的框图。

具体实施方式

现在参照图1，示出有衬底支撑100的图示。该衬底支撑100包括顶面102，真空孔104的排列并入所述顶面102中。该真空孔104与真空泵(未示出)流体连通。该真空泵从每个真空孔104吸取空气，使得放置在该衬底支撑100上的衬底借助于由生成于每个真空孔104的区域中的衬底下面的空气负压而固定在该衬底支撑100上。

该衬底支撑100为平台式衬底支撑，尽管本文所描述的原理同样适用于鼓形或其它形状的衬底支撑。

当基于意图在衬底支撑上使用的衬底的特性来制造衬底支撑时，对于给定的真空基衬底支撑，真空孔的数目、真空孔的排列以及真空孔的特性是进行的设计考虑。如此，真空基衬底支撑的设计不能在制造后轻易地或便宜地修改。

因此，当在给定真空基衬底支撑上使用不同类型的衬底时，问题出现了。例如，如果真空孔足做得够大以固定重的衬底，那么当使用柔性衬底时，可能的是，施加的力足够使衬底在该孔的附近弯曲。类似地，如果使用供轻衬底使用的小孔，那么所施加的力可能不足以固定较重的衬底。

例如在印刷行业中，在印刷操作期间，即使衬底轻微的非意图的移动也会导致降低的印刷质量。

类似地，即使印刷中的衬底的轻微变形也会导致降低的印刷质量。