[发明专利]ITO线路线阻的测算方法有效
| 申请号： | 201310657326.7 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103605445A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 任夫洋;黄孝宁;刘骥;沈效龙 | 申请（专利权）人： | 山东华芯富创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 丁修亭 |
| 地址： | 250102 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ito 线路 测算 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO线路线阻的测算方法，其特征在于，其包括以下步骤：
1）在基板上溅镀一层ITO后，测量ITO的方阻R方；
2）在ITO上制作预定形状的单元线路；
3）通过金相显微镜根据单元线路的预定形状扫描该预定形状各个组成部分在ITO上的纵横长度；
4）根据方阻与线阻的换算籍由所述纵横长度直接计算出单元线路各个组成部分的电阻；
5）累积单元线路各个组成部分的电阻得出单元线路的线阻。
2.根据权利要求1所述的ITO线路线阻的测算方法，其特征在于，单元线路划分为各个组成部分的方法是选取单元线路中的图形单体、连接图形单体的连接部分作为组成部分。
3.根据权利要求1或2所述的ITO线路线阻的测算方法，其特征在于，所述单元线路为菱形格线路。
4.根据权利要求3所述的ITO线路线阻的测算方法，其特征在于，菱形格线线路各个组成部分的尺寸包括包括菱形单元的长度和宽度、连接菱形单元的连接颈的长度和宽度，以及针端的长度和宽度，从而菱形格线路线阻为：
；
其中：n1为菱形单元个数，n2为连接颈个数，L菱形为菱形单元长度，w菱形为菱形单元宽度，a为连接颈宽度，LPIN为针端长度，d为ITO膜厚，LNECK为连接颈长度，wNECK为连接颈宽度。
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