[发明专利]湿洗铝腔室部件的方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2012年12月5日提交的美国临时申请No.61/733775的优先权。

技术领域

本公开总体上涉及清洗的方法，更具体而言，涉及湿洗具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面的蚀刻腔室的铝部件的方法。

背景技术

清洗腔室部件的方法提出了各种挑战，因而对清洗腔室部件的方法进行改进是迫切需要的。

发明内容

本公开总体涉及清洗的方法，更具体而言，涉及湿洗具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面的蚀刻腔室的铝部件的方法。尽管本公开的方法不限于特定腔室部件成分，但为了说明的目的，本文参考铝组件示出了方法步骤。应该理解的是本公开的方法还可以应用于湿洗由包含陶瓷在内的其他成分制成的腔室部件。

依据本公开的一个实施例，公开了湿洗具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面的铝部件的方法。该方法包含如下步骤：以约35至约45psi向铝部件的表面喷射CO₂干冰；遮蔽铝部件以隐藏裸铝表面；将被喷射干冰并被遮蔽的铝部件浸泡在约60℃或在约60℃以上的去离子水中；在完成在去离子水中的浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗铝部件；以及以所列举的顺序重复浸泡并擦洗至少附加的3次。

依据本公开的另一个实施例，公开了湿洗具有裸铝表面和阳极氧化的铝表面的铝部件的方法。该方法包含如下步骤：以约35至约45psi向铝部件的表面喷射CO₂干冰约5至约10分钟；以约30至约40psi用去离子水洗刷（flush）要清洗（clean）的被喷射干冰的铝部件的表面，接下来将铝部件干燥；用异丙醇擦拭（wipe）被洗刷的铝部件的表面；用丙酮擦拭被洗刷的铝部件的表面；用去离子水漂洗（rinse）被擦拭的铝部件，接下来用压缩的干燥空气去除过量的去离子水；遮蔽铝部件以隐藏裸铝表面；将遮蔽的铝部件浸泡在约30wt%的H₂O₂溶液中约30分钟，随后用去离子水漂洗；用#360金刚石垫和去离子水擦洗被遮蔽的铝部件的阳极氧化的铝表面约6分钟，随后用去离子水漂洗并吹除过量的去离子水；在包括NH₄OH、H₂O₂和H₂O的溶液中浸泡被遮蔽的铝部件约15分钟，随后用去离子水漂洗；用#360金刚石垫和去离子水擦洗（scrub）被遮蔽的铝部件的阳极氧化的铝表面约8分钟；用非编织纤维百洁垫和去离子水擦洗被遮蔽的铝部件的边缘和角落，随后为去离子水漂洗；至少一次附加地重复执行：用#360金刚石垫和去离子水擦洗被遮蔽的铝部件的阳极氧化的铝表面约8分钟，用非编织纤维百洁垫和去离子水擦洗铝部件的边缘和角落，随后为去离子水漂洗；接下来至少二次重复执行：将铝部件浸泡在约65℃或在约65℃以上的去离子水中约45分钟，随后用#360金刚石垫和去离子水擦洗铝部件的阳极氧化的铝表面；接下来至少二次重复执行：将铝部件浸泡在约65℃或在约65℃以上的去离子水中约45分钟，随后用非编织纤维百洁垫和去离子水擦洗铝部件的阳极氧化的铝表面；用去离子水漂洗铝部件；使用96℃或96℃以上的去离子水洗刷被漂洗的铝部件的阳极氧化的铝表面约10至约20分钟；使用#360金刚石垫和去离子水擦洗被洗刷的铝部件的阳极氧化的铝表面，随后用去离子水漂洗并将铝部件干燥；用2wt%的HNO₃溶液擦拭被擦洗的铝部件约2分钟并用去离子水漂洗铝部件约2分钟，随后吹除过量的去离子水；用包括约5vol%的约98wt%的H₂SO₄、约5vol%的约30wt%的H₂O₂、以及约90vol%的去离子水的稀硫酸过氧化物擦拭铝部件约2分钟，随后用去离子水漂洗约2分钟并吹除过量的水；从裸铝表面去除遮蔽；用异丙醇擦拭未遮蔽的铝部件的表面；用丙酮擦拭未遮蔽的铝部件的表面；用#3000粒度的非编织纤维百洁垫和去离子水擦洗裸铝表面；用去离子水漂洗铝部件的表面约2分钟，随后吹除过量的去离子水；用超纯水漂洗未遮蔽的铝部件的表面约2分钟，随后以约8至约15W/in²的功率密度超声清洗约20分钟；以及用去离子水漂洗铝部件约2分钟，随后将铝部件干燥。

附图说明

下面的本公开的具体实施例的详细说明当结合下面的附图阅读时可以最好地理解，同样的构造用同样的附图标记表明，其中：

图1是依据本公开的示例铝部件；以及

图2示出了根据本公开的湿洗铝部件的方法。

具体实施方式