[发明专利]平板显示器的背板及其制造方法

权利要求书

1.一种用于平板显示装置的背板，所述背板包括：

基板；

栅电极，位于所述基板上；

第一绝缘层，位于所述基板上并且用于覆盖所述栅电极；

半导体层，位于所述第一绝缘层上并且对应于所述栅电极；以及

源电极和漏电极，位于所述半导体层上并且电连接到所述半导体层的相应部分，

其中，所述半导体层包括铟、锡、锌和镓，并且镓的原子浓度为5%至15%。

2.如权利要求1所述的背板，其中，

所述半导体层通过使用包括铟、锡和锌的氧化物以及镓的目标经由溅射形成。

3.如权利要求1所述的背板，还包括：

第三绝缘层，位于所述第一绝缘层上并且用于覆盖所述源电极和所述漏电极，

其中，所述第三绝缘层具有暴露所述源电极或所述漏电极的一部分的第三孔。

4.如权利要求3所述的背板，还包括：

像素电极，位于所述第三绝缘层上，位于所述第三孔中，并且电连接到所述源电极或所述漏电极；

中间层，位于所述像素电极上并且包括有机发光层；以及

相对电极，经过所述中间层与所述像素电极相对。

5.如权利要求4所述的背板，还包括：

第四绝缘层，位于所述第三绝缘层上，覆盖所述像素电极的边缘，并且具有暴露所述像素电极的至少一部分的开口。

6.如权利要求1所述的背板，其中，

所述半导体层包括铟、锡和锌的氧化物。

7.如权利要求1所述的背板，还包括：

第二绝缘层，位于所述第一绝缘层上，覆盖所述半导体层，并且具有暴露所述半导体层的一部分的第一孔和第二孔，

其中，所述源电极和所述漏电极分别位于所述第二绝缘层上并且位于所述第一孔和所述第二孔中。

8.一种用于平板显示装置的背板的制造方法，所述方法包括：

在基板上形成栅电极的第一掩模操作；

在所述基板上形成第一绝缘层以覆盖所述栅电极；

在所述第一绝缘层上形成半导体层以与所述栅电极相对应的第二掩模操作；

形成具有暴露所述半导体层的相应部分的第一孔和第二孔的第二绝缘层的第三掩模操作，所述第二绝缘层覆盖所述半导体层并且位于所述第一绝缘层上；以及

在所述半导体层上形成源电极和漏电极的第四掩模操作，所述源电极和所述漏电极电耦合到所述半导体层的相应部分，

其中，所述半导体层包括铟、锡、锌和镓，并且

其中，镓的原子浓度为5%至15%。

9.如权利要求8所述的方法，其中，

所述半导体层通过使用包括铟、锡和锌的氧化物以及镓的目标经由溅射形成。

10.如权利要求8所述的方法，还包括：

在所述第一绝缘层上形成第三绝缘层的第五掩模操作，所述第三绝缘层覆盖所述源电极和所述漏电极并且具有暴露所述源电极或所述漏电极的一部分的第三孔。

11.如权利要求10所述的方法，还包括：

在所述第三绝缘层上并在所述第三孔中形成像素电极的第六掩模操作，所述像素电极电耦合到所述源电极或所述漏电极。

12.如权利要求11所述的方法，还包括：

在所述第三绝缘层上形成第四绝缘层的第七掩模操作，所述第四绝缘层覆盖所述像素电极的边缘并且具有暴露所述像素电极的至少一部分的开口。

13.如权利要求8所述的方法，其中，

所述半导体层包括铟、锡和锌的氧化物。

14.如权利要求8所述的方法，其中，

所述源电极和所述漏电极分别形成在所述第二绝缘层上并且位于所述第一孔和所述第二孔中。

15.如权利要求14所述的方法，还包括：

在所述像素电极上形成中间层，所述中间层包括有机发光层；以及

形成相对电极，所述相对电极经过所述中间层与所述像素电极相对。

16.一种显示装置，包括：

基板；

位于所述基板上的半导体层，所述半导体层包括铟、锡、锌和镓，

其中，镓的原子浓度为5%至15%。