[发明专利]CCD芯片调制传递函数测试装置及方法

权利要求书

1.一种CCD芯片调制传递函数测试装置，其特征在于：所述的CCD芯片调制传递函数测试装置包括He-Ne激光器（1）、可调衰减器（2）、扩束镜（3）、针孔滤波器（4）、光阑（5）、准直透镜（6）、迈克尔逊干涉仪（7）、图像采集卡（8）、暗箱（9）、PC数据处理系统（10）和待测CCD芯片（11）；所述He-Ne激光器（1）、可调衰减器（2）、扩束镜（3）、针孔滤波器（4）、光阑（5）、准直透镜（6）依次置于迈克尔逊干涉仪（7）的入射光路并各组件的光轴为一条直线；待测CCD芯片（11）与图像采集卡（8）连接装入暗箱（9）内以免杂散光影响测量，所述暗箱（9）通过不透光管道连接在迈克尔逊干涉仪（7）的出射光路上，所述PC数据处理系统（10）与图像采集卡（8）连接，读取所成图像信息。

2.根据权利要求1所述的CCD芯片调制传递函数测试装置，其特征在于：在迈克尔逊干涉仪（7）中将分光镜（7-1）固定在角度可调的角度盘上，通过在0°到90°范围内调节角度盘的角度获得不同空间频率的正谐波。

3.用权利要求1所述的CCD芯片调制传递函数测试装置测试调制传递函数的方法，其特征包括以下步骤：

步骤一：开启He-Ne激光器（1），光束通过可调衰减器（2）进行初次激光强度衰减，调节衰减器能够连续调节光的强度；

步骤二：初次衰减的激光通过扩束镜（3）扩展光束直径并通过针孔滤波器（4）滤去杂波之后，激光束的质量得到初步改善，然后调节光阑（5）的出射孔径，使光束中能量分布均匀的部分能够通过光阑；

步骤三：调节准直透镜（6）在迈克尔干涉仪入射光路与光阑（5）之间光路中的前后位置，使射入迈克尔逊干涉仪（7）的光束为平行光，使迈克尔逊干涉仪（7）出射光线构成清晰的正弦干涉条纹图样；

步骤四：利用全息干板从迈克尔干涉仪（7）出射光路处记录正弦干涉条纹图样，用测微光度计（12）对记录的干涉条纹图样进行扫描记录得到干涉条纹的对比度M¹；

步骤五：将暗箱（9）连接到干涉仪的出射光路，图像采集卡（8）与PC数据处理系统(10)连接，同时使正弦干涉条纹在待测CCD上成像；

步骤六：PC数据处理系统（10）的图像采集软件通过图像采集卡（8）读取待测CCD所成正弦图像的光强最大值I_max与最小值I_min，计算正弦图像的对比度：M2=Imax-IminImax+Imin;]]>

步骤七：待测CCD所成正弦图像的对比度与步骤四所测正弦干涉条纹图样对比度的比值为CCD的调制传递函数MTF(f)值，即：

步骤八：将分光镜（7-1）下可调的角度盘0°到90°范围内调整角度，得到一系列不同空间频率的正弦波，同时得到相对应的MTF，利用最小二乘法拟合出CCD调制传递函数。