[发明专利]基板传送托盘及成膜装置

说明书

技术领域

本申请主张基于2013年3月15日申请的日本专利申请第2013-053259号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种成膜装置用的基板传送托盘及成膜装置。

背景技术

以往，作为在成膜装置的真空腔室内传送基板时所使用的基板传送托盘，已知有专利文献1所示的基板传送托盘。该基板传送托盘的传送采用齿条/小齿轮方式。即，在真空腔室的上侧设置有具有小齿轮的驱动部，在基板传送托盘的上端侧设置有以与驱动部的小齿轮啮合的方式将齿排列成直线状的齿条。通过这种结构，以基板传送托盘保持基板，并使驱动部的小齿轮旋转，由此该基板传送托盘与齿条一同向传送方向移动。由此，在成膜装置的真空腔室内基板以保持于基板传送托盘的状态被传送。

专利文献1：日本特开平1-268870号公报

然而，如上所述作为基板传送托盘的传送方法，当采用齿条/小齿轮方式时，存在成膜装置传送部的结构和基板传送托盘的结构变得复杂的问题。并且，从一真空腔室向相邻的真空腔室传送基板传送托盘时，有时会进行如下控制（追赶控制），即从一真空腔室被传送的基板传送托盘能够追上在相邻的真空腔室内被传送的基板传送托盘。采用齿条/小齿轮方式时，存在如下问题，即因齿条的齿与小齿轮的齿啮合的关系，在基板传送托盘靠近一真空腔室的驱动部和另一真空腔室的驱动部的状态下，无法在各真空腔室的驱动部之间设置传送速度之差，难以应对追赶控制。当难以应对追赶控制时，在进行成膜的部分，有时存在基板传送托盘彼此的间隔变大的情况，会影响成膜效率。根据以上，追求使基板传送的结构简化，并且提高成膜效率的成膜装置。

发明内容

本发明是为了解决这种问题而提出的，其目的在于提供一种能够简化用于基板传送的结构，并且能够提高成膜效率的基板传送托盘以及成膜装置。

本发明所涉及的基板传送托盘为一种向与基板的厚度方向交叉的传送方向传送基板时，能够保持基板的成膜装置用基板传送托盘，其具备：框体，能够安装基板；以及支承部，设于框体的一端侧，传送时支承框体，支承部具有：第1部分，连接于框体的一端侧，且至少沿框体的厚度方向延伸；以及第2部分，与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触。

本发明所涉及的基板传送托盘具备设置于框体的一端侧的支承部，该支承部具有与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触的第2部分。由此，能够安装基板的框体经由具有第2部分的支承部，由驱动辊赋予驱动力，并能够与基板一同向传送方向移动。并且，支承部具有与框体连接的第1部分，该第1部分向框体的厚度方向延伸。因此，即使在驱动辊或与该驱动辊接触的部分产生因膜剥落等而产生的粒子，向厚度方向延伸的第1部分也能够接收该粒子。如此，虽然只是使支承部的第2部分与驱动辊接触的简单的结构，也能够进行基板的传送且抑制粒子的飞散。并且，并非如齿条/小齿轮方式那样使齿条侧的齿与小齿轮侧的齿啮合而赋予驱动力，而是通过使用驱动辊，即使在一真空腔室的驱动部与另一真空腔室的驱动部之间存在传送速度之差，也能够进行传送，因此可以应对追赶控制。由此，能够有效率地传送基板，并能够提高成膜效率。根据以上，能够简化用于基板传送的结构，并且能够提高成膜效率。

本发明所涉及的基板传送托盘中，传送方向的第2部分的端部可以具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状。第2部分与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触，但驱动辊为了支承第2部分有时在厚度方向上的两端侧具有凸缘部。在这种情况下，第2部分的端部具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状，由此第2部分的端部不干扰驱动辊的凸缘部就能够顺利地与驱动辊接触。

本发明所涉及的基板传送托盘中，在框体的另一端侧的传送方向的端部可以具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状。在框体的另一端侧，有时设置支承该框体的另一端侧的两个侧面那样的侧面支承部。在这种情况下，通过在框体传送方向的端部具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状，由此框体的传送方向的端部不干扰侧面支承部就能够顺利地向传送方向移动。

本发明所涉及的基板传送托盘中，从传送方向观察时第1部分形成为“コ”字形状，在该“コ”字形状的内表面可安装第2部分。由此，通过第1部分的“コ”字形状，能够包围与第2部分接触的驱动辊。因此，能够可靠地接收在驱动辊附近产生的粒子并抑制飞散。