[发明专利]一种低温去除硅中硼磷的方法无效
申请号: | 201310637020.5 | 申请日: | 2013-12-02 |
公开(公告)号: | CN103693647A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 李京伟;陈健;张涛涛;白枭龙;李彦磊;班伯源 | 申请(专利权)人: | 中国科学院等离子体物理研究所 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 去除 硅中硼磷 方法 | ||
1.一种低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)将工业硅粉与镓基合金混合加热,直至完全熔化为液体,将液相混合物冷却,使硅重结晶析出,得到硅合金,其中硅粉与镓基合金的重量比为1:0.1-1:100,加热熔化温度为100-1400℃,重结晶的冷却速率为0.01-100℃/min;
(2)将步骤(1)得到的硅合金固液分离得到重结晶硅颗粒;
(3)将步骤(2)得到的重结晶硅颗粒,用酸酸洗,其中酸浓度为0.1-100wt%,硅与酸的重量比为1:0.1-1:200,酸洗温度为10-100℃,酸洗时间为0.5-100h;用去离子水漂洗、烘干,得到硼、磷杂质低的纯硅。
2.根据权利要求1所述的低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于:步骤(1)中所述的镓基合金为含铝、锡、锌、铜、镍、铁、钙、镁,或它们之间两种及两种以上的混合物,纯度为98-99.999%。
3.根据权利要求1所述的低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的固液分离方式为离心分离、抽滤或压滤。
4.根据权利要求1所述的低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于:步骤(3)中所述的酸为硫酸、盐酸、王水、氢氟酸、硝酸、乙酸、醋酸,或它们之间两种及两种以上的混合酸。
5.根据权利要求1所述的低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的固液分离得到的镓基合金可循环用于工业硅的除硼磷。
6.根据权利要求1所述的低温去除硅中硼磷的方法,其特征在于:步骤(3)中所述的酸可循环利用。
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