[发明专利]直线位移传感器自动化校准装置有效
申请号: | 201310631438.5 | 申请日: | 2013-12-02 |
公开(公告)号: | CN103630099A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 曹洁;杨新建;张祥庚;周骏;戚丽红;佟晨光;佘娜萍 | 申请(专利权)人: | 常州市计量测试技术研究所 |
主分类号: | G01B21/02 | 分类号: | G01B21/02 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 213164 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直线 位移 传感器 自动化 校准 装置 | ||
1.一种直线位移传感器自动化校准装置,包括基座(1)、双直线导轨(2)、光栅尺(3)、滚珠丝杠(4)、联轴器(5)、伺服电机(6)、垂直升降装置(7)、水平调整装置(8)、通用夹具(9)、锁紧螺母(10)、自动化控制台(14)、控制面板(20)、电子手轮(21),其特征在于:还包括激光校准机构,激光校准机构包括滑动式激光反射镜支撑架(11)、滑动式激光干涉镜支撑架(12)、滑动式双频激光干涉仪支撑架(13)、固定拉杆(15)、激光反射镜(16)、激光干涉镜(17)、双频激光干涉仪(18)、光栅尺读数传感器(19);所述的双直线导轨(2)、光栅尺(3)固定在基座(1)上;所述的伺服电机(6)固定于基座的一端,滚珠丝杠(4)通过联轴器(5)与伺服电机(6)连接;所述的垂直升降装置(7)固定在基座(1)的另一端,水平调整装置(8)、通用夹具(9)、锁紧螺母(10)彼此卡扣并与垂直升降装置(7)连接;所述的滑动式激光反射镜支撑架(11)、滑动式激光干涉镜支撑架(12)、滑动式双频激光干涉仪支撑架(13)固定在双直线导轨(2)上,其中固定拉杆(15)、激光反射镜(16)、光栅尺读数传感器(19)固定在滑动式反射镜支撑架(11)上,激光干涉镜(17)固定在滑动式激光干涉镜支撑架(12),双频激光干涉仪(18)固定在滑动式双频激光干涉仪支撑架(13)上;所述的控制面板(20)装设在自动化控制台(14)上并通过数据线控制伺服电机(6),并显示光栅尺读数传感器(19)传输到控制面板的数据。
2.根据权利要求1所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:固定拉杆(15)中心处开设一螺纹孔,将传感器拉绳通过螺钉装载到固定拉杆(15)上。
3.根据权利要求1所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:通用夹具(9)通过螺栓固定在调节平台(26)上。
4.根据权利要求1或2所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:还包括一调节螺栓(22),所述的调节螺栓(22)固定在所述的滑动式干涉镜支撑架(12)上通过固定在所述的滑动式干涉镜支撑架(12)上的锁定螺母(23)锁定。
5.根据权利要求4所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:还包括一调节螺母(25),所述的调节螺母(25)固定在所述的滑动式双频激光干涉仪支撑架(13)上,通过固定在所述的滑动式双频激光干涉仪支撑架(13)上的锁定螺母(24)锁定。
6.根据权利要求1所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:所述的锁紧螺母(10)个数为4,圆周分布安装在通用夹具(9)上。
7.根据权利要求1所述的直线位移传感器自动化校准装置,其特征在于:所述的电子手轮(21)分设三个档位,分设X1档,X10档,X100档,X1档中每旋一格,位移进给0.001mm,X10档中每旋一格,位移进给0.01mm,X100档中每旋一格,位移进给0.1mm。
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