[发明专利]一种自动跳货检测系统有效
申请号: | 201310630347.X | 申请日: | 2013-11-29 |
公开(公告)号: | CN103681402A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 何理;许向辉;郭贤权;陈超 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 货检 系统 | ||
1.一种自动跳货检测系统,其特征在于,该系统包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块;
所述存储模块储存有机台信息;
所述采集模块用于对进入到良率扫描站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台缺陷状况信息;
所述处理模块根据不同批次产品对应的机台的重要程度以及同型机台的不同条件来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测;
根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测,提高了检测精度和检测效率。
2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述处理模块有一可编辑单元,用于编辑各机台产品所对应的抽样检测规则,所述抽样检测规则根据机台的不同而设定。
3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述系统具有一最低抽样检测规则。
4.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述存储模块存储有生产线上所有生产机台信息。
5.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统用于控制所有良率检测站点对产品进行检测。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造