[发明专利]可实现快速阻抗匹配的射频电源系统有效
| 申请号： | 201310629233.3 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103619117A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;孙小孟;李英杰;夏洋;王文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实现 快速 阻抗匹配 射频 电源 系统 | ||
1.一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，其特征在于：所述射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；所述阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；所述执行机构包括固定阻抗元件、可变阻抗元件和用于改变所述可变阻抗元件数值的驱动装置，所述可变阻抗元件仅有一个；所述控制器接收来自所述检测器的检测值，经处理计算后控制所述执行机构的所述驱动装置工作以改变所述可变阻抗元件数值。
2.根据权利要求1所述的射频电源系统，其特征在于：所述射频功率发生器输出的射频功率信号的频率的中心值为2MHz、13.56MHz或40.68MHz。
3.根据权利要求1所述的射频电源系统，其特征在于：所述射频功率发生器输出的射频功率信号的频率的偏离中心值的变化范围为－5%到+5%。
4.根据权利要求1所述的射频电源系统，其特征在于：所述执行机构的所述可变阻抗元件为可变电容元件。
5.根据权利要求4所述的射频电源系统，其特征在于：所述执行机构的所述固定阻抗元件包括固定电感元件和固定电容元件，所述固定电感元件、所述固定电容元件和所述可变电容元件组成L形阻抗匹配网络。
6.根据权利要求5所述的射频电源系统，其特征在于：所述固定电感元件和所述可变电容元件相串联，所述固定电容元件的一端与所述可变电容元件的一端相连接，所述固定电容元件的另一端接地。
7.根据权利要求6所述的射频电源系统，其特征在于：所述固定电感元件的取值范围为500nH～1000nH；所述固定电容元件的取值范围为200pF～1500pF；所述可变电容元件的最大数值的取值范围为150pF～600pF。
8.根据权利要求5所述的射频电源系统，其特征在于：所述固定电感元件和所述固定电容元件相串联，所述可变电容元件的一端与所述固定电容元件的一端相连接，所述可变电容元件的另一端接地。
9.根据权利要求8所述的射频电源系统，其特征在于：所述固定电感元件的取值范围为500nH～1000nH；所述固定电容元件的取值范围为50pF～500pF；所述可变电容元件的最大数值的取值范围为500pF～1500pF。
10.根据权利要求1所述的射频电源系统，其特征在于：所述执行机构的所述可变阻抗元件为可变电感元件。
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