[发明专利]一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种软件故障快速恢复方法，尤其是针对半导体生产线搬运系统调度控制软件的故障快速恢复方法。

背景技术

在主流的半导体生产工厂内，生产线由很多种工艺加工设备以晶圆存储设备等组成，半导体生产线搬运系统在这些设备间搬运晶圆，极大地提高半导体生产线的自动化能力。搬运系统在半导体生产工厂起到大动脉的作用，如果搬运系统出现故障，整个生产线都要停止生产。所以搬运系统运行的稳定性及故障快速恢复能力对整个生产线产能影响很大。现行的搬运系统在控制软件出现故障后需人工处理，并且需要自我检测或重新启动等很多步骤才能恢复成故障之前的工作状态。

发明内容

为了克服搬运系统控制件故障恢复时间慢的不足，本发明提供一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法，使搬运系统软件在出现故障后可以快速恢复至故障前的工作状态。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法，包括以下步骤：将生产线搬运系统的控制主机与从机连接，分别同时运行相同的搬运系统控制软件并进行数据同步；当主机发生故障时，从机发出报警并接替主机对搬运系统进行控制；主机故障解除后，从机进入故障等待状态。

所述主机和从机在同一个网络内并可以互相访问。

所述进行数据同步具体为：主机处于工作状态时，主机的控制软件定期将搬运系统的工作状态数据存入主机的数据库中，并同时通过网络存入从机的数据库中。

所述从机发出报警并接替主机对搬运系统进行控制包括以下步骤：

当主机的控制软件检测到搬运系统发生故障时，主机向从机发出故障状态信息并自动切换成故障等待状态；从机接收到故障状态信息后，从机的控制软件从故障等待状态切换成正常工作状态，读取从机数据库中的工作状态数据，接替主机对搬运系统进行控制；

当主机的控制软件未检测到搬运系统故障且从机在一定时间内没有接收到主机发来的状态信息时，从机从故障等待状态切换成正常工作状态，读取从机数据库中的工作状态数据，接替主机对搬运系统进行控制，并向主机的监控程序发送重新启动主机控制软件指令，强制主机的控制软件重新启动；从机接替主机的控制工作后进行报警。

本发明具有以下有益效果及优点：

1.本发明方法使轨道搬运系统软件在发生故障时，能够快速的恢复并继续工作。

2.由于该方法分为主机和从机，主机如果出现了某些严重的问题，导致短期内无法工作，从机可代替主机进行一切工作，从而极大的提高了生产效率，也给技术人员充足的时间来解决问题。

3.由于采用了数据同步机制，从机可以将主机的工作状态数据进行及时的备份，避免由于主机故障而导致数据丢失，增强系统的安全性。

附图说明

图1是本发明的系统结构图；

图2是软件故障处理流程图。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明。

一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法，具体步骤如下：

主机与从机分别同时运行相同的搬运系统控制软件并拥有数据同步功能。当主机发生故障时，从机发出报警，并接替主机进行控制操作。主机故障解除后，从机进入故障等待状态。

所述主机与从机，是指两台相同配置的计算机，计算机中安装完全相同的搬运系统控制软件、软件监控程序和数据库软件，两台计算机在同一个网络内，可以互相访问。

所述数据同步功能，是指主机处于工作状态时，主机的控制软件会将工作状态数据存入数据库中，主机数据库与从机数据库中的数据利用网络通讯实现实时同步的功能。

工作状态数据包括软件工作状态数据和硬件工作状态数据；

其中软件工作状态数据包括调度模块状态、天车模块状态、仓储模块状态。各个模块的状态是指各个模块在运行过程中，模块内部的用于表示模块状态的各个参数的参数值。这三个模块分别利用控制软件，将模块状态参数的参数值存入数据库中。

调度模块状态参数包括调度模块的总体状态（正常、繁忙、错误），调度模块的当前所执行的指令，调度模块当前控制的设备列表等；

天车模块状态参数包括天车模块的总体状态（正常、繁忙、错误），天车模块的当前所执行的指令，天车的运行速度，天车装载的晶圆数量等；

仓储模块状态参数包括仓储模块的总体状态（正常、繁忙、错误），仓储模块的当前所执行的指令，仓库所存储的晶圆数量、仓库可容纳的晶圆数量等。