[发明专利]液体喷射装置及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射装置制造方法，其特征在于，包括：

在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；

在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。

2.根据权利要求1的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，包括：

在基底第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置；

在所述腔室层上形成覆盖所述腔室层的阻光层；

在所述阻光层上形成喷孔层并曝光，限定喷孔的形状和位置；

显影形成压力腔室、喷孔和公共腔室。

3.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

刻蚀基底第一表面形成凹槽；

在所述凹槽内形成压电元件，该压电元件的上表面与所述基底第一表面平齐；

在基底第一表面上形成振动板，所述振动板盖设在所述压电元件的外部。

4.根据权利要求3所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在所述凹槽内形成压电元件，包括：

通过溅射法在所述凹槽内依次形成下电极层、压电体层和上电极层；其中，所述下电极层为钛层、铂金层或多个钛层叠加层；所述压电体层为锆钛酸铅层；所述上电极层为铂金层或黄金层。

5.根据权利要求3或4所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，之后还包括：

蚀刻基底第二表面形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔；

在基底第二表面设置盖板，该盖板盖设所述空腔上并保持所述供墨孔畅通。

6.根据权利要求5所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述蚀刻基底第二表面形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔，之后还包括：

在所述压电元件的两侧与所述基底之间形成缝隙。

7.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

在基底第一表面上形成振动板；

在所述振动板上形成压电元件。

8.根据权利要求3或4或7所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于：

所述在基底第一表面形成振动板包括：通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成振动板；其中，所述振动板的材料为SiO₂或Si₃N₄或SiO₂-Si₃N₄叠层。

9.根据权利要求7所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在所述振动板上形成压电元件包括：

通过溅射法形成下电极层、溶胶凝胶法形成压电体层和溅射法形成上电极层；其中，所述下电极层为钛层、铂金层或多个钛层叠加层；所述压电体层为锆钛酸铅层；所述上电极层为铂金层或黄金层。

10.根据权利要求7或9所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，之后还包括：

在基底第二表面蚀刻形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔；

在基底第二表面设置盖板，该盖板盖设所述空腔上并保持所述供墨孔畅通。

11.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

在基底第一表面沉积薄膜电阻层，该薄膜电阻层的材料为钽铝合金或镍铬合金或钨硅氮化物或氮化钛。