[发明专利]一种自动探针台配方管理方法在审

专利信息
申请号: 201310613136.5 申请日: 2013-11-26
公开(公告)号: CN103823669A 公开(公告)日: 2014-05-28
发明(设计)人: 周波;莫保章 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F9/44 分类号: G06F9/44;G01R1/067
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 探针 配方 管理 方法
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种WAT测试技术领域,尤其涉及一种自动探针台配方管理方法。

背景技术

自动探针台的配方主要完成探针卡的对位,wafer的对位等功能;现有WAT测试的自动探针台的配方都存放在自动探针台本机上,当由于wafer本身问题或其它一些特殊外部因素引起问题时需要工程师去调试配方或更改配方的某些设置后继续进行测试,一次测试需要几个小时甚至几天的时间,因此工程师常常会忘掉删除为特殊情况下而调试的配方导致正常lot测试时再次出现问题;有些配方的设置(例如扎针深度,清针频率等)并不能在接下来的测试中立刻反映出来,往往等上很长一段时间以后才发现某台自动探针台的配方设置跟其它机台不一致;目前在某一台自动探针台上建立完配方还需手动传送到其它自动探针台,在其它机台正在测货时是不能传送的,往往需要等很长时间才能完成全部机台的传送。

专利(公开号:CN201616426)公开了一种探针台,包括:探针卡;载晶盘,用于承载晶片上下方向抬升机构,用于承载所述载晶盘,并使所述载晶盘在上下方向移动轨道,用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘,并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移动,还包括排风扇,所述排风扇安装于所述轨道的活动区域之外。该专利提供的探针台在工作过程中,通过运转的排风扇将润滑油蒸汽吹散,使其无法在空中因遇冷重新凝结为润滑油滴,避免了重新凝结的润滑油滴掉落在载晶盘所承载的晶片上,提高了探针卡对晶片进行性能测试的准确性,可使晶片的良率提高1%至2%。

专利(公开号:CN201637795)公开了一种探针台测试系统,包括探针台和测试机,所述探针台与测试机连接,向测试机发送测试数据或接收测试机的反馈数据,还包括探针台测试显示装置,所述探针台测试显示装置与探针台及测试机相连接,获取并对所述测试数据和反馈数据进行处理,实时生成并显示测试分布文件。还涉及一种探针台测试显示装置。本实用新型能够实时显示测试结果,便于测试员在测试过程中及时发现并处理问题,而不必等待整个产品测试结束后再处理。改善了生产管理、提高了生产效率。并且不需要更换现有的探针台设备,节省了成本、避免了浪费。

发明内容

有鉴于此,本发明提出一种自动探针台配方管理方法,以解决上述调试时间长,在其它机台正在测货是不能传送的问题。

为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:

一种自动探针台配方管理方法,包括服务器,若干探针台,若干自动测试仪,其中,将某一台自动测试仪的主机作为所有自动探针台的服务器,所有自动探针台的配方集中在该服务器上进行管理,所述方法的步骤为:

步骤一:自动测试仪向探针台发送需要下载的探针台配方指令;

步骤二:探针台自动从服务器上下载该配方指令;

步骤三:如果探针台已有该配方指令,则服务器上的指令替换掉该探针台上已有的配方指令,探针台反馈给自动测试仪,自动测试仪进行测试;

步骤四:如果服务器上没有该配方指令,则下载失败,探针台反馈给自动测试仪,自动测试仪暂停测试。

上述自动探针台配方管理方法,其中,所述探针台内具有接受自动测试仪指令的模块。

上述自动探针台配方管理方法,其中,所述探针台可自动上传配方至服务器。

上述自动探针台配方管理方法,其中,其余探针台可通过服务器共享配方。

本发明由于采用了上述技术,产生的积极效果是:

通过本发明的使用,可保证每台自动探针台使用的同一个配方的设置完全一致;也可达到在某一台自动探针台上建立完配方上传至服务器后不用去手动传送到其它自动探针台,减少工作量的目的。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:

图1为本发明的一种自动探针台配方管理方法的步骤图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,但不作为本发明的限定。

实施例:

请结合图1所示,一种自动探针台配方管理方法,包括服务器,若干探针台,若干自动测试仪,其特征在于,将某一台自动测试仪的主机作为所有自动探针台的服务器,所有自动探针台的配方集中在该服务器上进行管理,方法的步骤为:

步骤一:自动测试仪向探针台发送需要下载的探针台配方指令;

步骤二:探针台自动从服务器上下载该配方指令;

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