[发明专利]运动台反力抵消装置

权利要求书

1.一种运动台反力抵消装置，安装在地基与运动台之间，包括：主动阻尼元件、速度测量元件、弹性元件、解耦机构以及线性导轨；其中，

所述线性导轨安装在运动台的电机定子下；

所述主动阻尼元件的一侧与所述电机定子连接，所述主动阻尼元件的另一侧与反力支撑架连接；

所述弹性元件的一侧与所述电机定子相连，所述弹性元件的另一侧与所述解耦机构连接；

所述解耦机构的另一端与光刻机的反力支撑架相连；

所述速度测量元件设置于所述电机定子上，用于测量电机定子的速度。

2.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，还包括调节螺杆，所述调节螺杆通过调节支座安装在反力支撑架上，用于改变弹性元件的张力。

3.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，还包括位移测量元件，所述位移测量元件分别配置在电机动子和硅片台、电机动子和电机定子之间，用于建立硅片台自身的绝对位置坐标。

4.如权利要求3所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述位移测量元件采用光栅尺。

5.如权利要求3所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述电机定子通过电机安装板与所述线性导轨连接，电机动子与长行程组件连接。

6.如权利要求5所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述位移测量元件通过位移测量元件连接板和电机连接板与长行程组件连接。

7.如权利要求5所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述主动阻尼元件通过主动阻尼元件连接板以及连接板与电机安装板上的电机定子相连。

8.如权利要求5所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述速度测量元件通过速度测量元件连接板固定在所述电机安装板上。

9.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述主动阻尼元件通过主动阻尼元件安装板安装在反力支撑架上。

10.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述主动阻尼元件采用音圈电机。

11.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述速度测量元件采用速度传感器。

12.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述速度测量元件采用绝对速度反馈环。

13.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述解耦机构通过解耦机构安装板固定在反力支撑架上。

14.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述解耦机构采用叠层橡胶。

15.如权利要求1所述的运动台反力抵消装置，其特征在于，所述弹性元件为弹簧。