[发明专利]多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法及其装置

权利要求书

1.多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法，其特征为回收步骤如下：

1）高沸物以100-4000kg/h的速度连续加入裂解反应塔；

2）氯化氢以4-25Nm³/h连续进入气体预热器；

3）有机胺催化剂进入预热器与氯化氢混合，然后进入裂解反应塔，有机胺催化剂的用量为高沸物质量的0.1%-15%；

4）高沸物和氯化氢在裂解反应器重发生裂解反应，反应温度为100-140℃，压力为常压;

5）裂解产物经塔顶冷凝器采出，进入产品罐；

6）剩余的未反应物排入未反应物储罐。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法，其特征为有机胺催化剂为三正丁胺，N,N-二甲基苯胺。

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法，其特征为裂解产物经塔顶冷凝器冷凝后分为二部分，一部分回流进入裂解反应塔塔顶，另一部分作为成品回收进入产品罐。