[发明专利]耐磨铣刀的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及耐磨铣刀的制备方法。

背景技术

铣刀，是用于铣削加工的、具有一个或多个刀齿的旋转刀具，现有铣刀虽然能够进行铣削工作，但硬度差、摩擦系数高、使用寿命短，并且不可修磨，因此在使用中大幅度提高了加工生产成本。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种耐磨铣刀的制备方法，其制备的铣刀耐磨性强、硬度高、自润滑、摩擦系数低、表面光洁度高、耐干切削、耐氧化温度高。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种耐磨铣刀的制备方法，包括如下步骤：

1）将铣刀刀头外壁放入压力为7帕的真空室的转盘上，升温至250～260℃，继续抽真空至4帕，启动转盘，转盘转速8转/分钟；

2）通入100～120标况毫升每分（sccm）的氩气，控制真空度在4～5帕，对铣刀施加负偏压-850伏30～35分钟；

3）关闭负偏压电源和氩气，抽真空至4帕；

4）通入250～260sccm的氩气，控制真空度在2～3帕，施加负偏压-400～-600伏，开启钛靶磁控电源，电流20～25安，30～40分钟后负偏压调整为-100～-110V，沉积40～50分钟，形成钛的扩散过渡层；

4）通入300～320sccm的氮气，关闭氩气，控制真空度在2～3帕，沉积15～20分钟，形成氮化钛支持层；

6）通入230～240sccm氩气，控制真空度在3～4帕，开启二硫化钼磁控电源，磁控电流12～14安，沉积30～40分钟，形成二硫化钼氮化钛复合层；

7）关闭所有气体，负偏压电源、钛靶磁控电源以及二硫化钼磁控电源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50～60分钟，得到耐磨铣刀。 

本发明的优点和有益效果在于：提供一种耐磨铣刀的制备方法，其制备的铣刀耐磨性强、硬度高、自润滑、摩擦系数低、表面光洁度高、耐干切削、耐氧化温度高。

具体实施方式

下面结合实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

本发明具体实施的技术方案是：

实施例1

一种耐磨铣刀的制备方法，包括如下步骤：

1）将铣刀刀头外壁放入压力为7帕的真空室的转盘上，升温至260℃，继续抽真空至4帕，启动转盘，转盘转速8转/分钟；

2）通入120sccm的氩气，控制真空度在5帕，对铣刀施加负偏压-850伏35分钟；

3）关闭负偏压电源和氩气，抽真空至4帕；

4）通入260sccm的氩气，控制真空度在3帕，施加负偏压-600伏，开启钛靶磁控电源，电流25安，40分钟后负偏压调整为-110V，沉积50分钟，形成钛的扩散过渡层；

4）通入320sccm的氮气，关闭氩气，控制真空度在3帕，沉积20分钟，形成氮化钛支持层；

6）通入240sccm氩气，控制真空度在4帕，开启二硫化钼磁控电源，磁控电流14安，沉积40分钟，形成二硫化钼氮化钛复合层；

7）关闭所有气体，负偏压电源、钛靶磁控电源以及二硫化钼磁控电源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，60分钟，得到耐磨铣刀。

实施例2

一种耐磨铣刀的制备方法，包括如下步骤：

1）将铣刀刀头外壁放入压力为7帕的真空室的转盘上，升温至250℃，继续抽真空至4帕，启动转盘，转盘转速8转/分钟；

2）通入100sccm的氩气，控制真空度在4帕，对铣刀施加负偏压-850伏30分钟；

3）关闭负偏压电源和氩气，抽真空至4帕；

4）通入250sccm的氩气，控制真空度在3帕，施加负偏压-400伏，开启钛靶磁控电源，电流20安，30分钟后负偏压调整为-100V，沉积40分钟，形成钛的扩散过渡层；

4）通入300sccm的氮气，关闭氩气，控制真空度在2帕，沉积15分钟，形成氮化钛支持层；

6）通入230sccm氩气，控制真空度在3帕，开启二硫化钼磁控电源，磁控电流12安，沉积3分钟，形成二硫化钼氮化钛复合层；

7）关闭所有气体，负偏压电源、钛靶磁控电源以及二硫化钼磁控电源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50分钟，得到耐磨铣刀。

实施例3

一种耐磨铣刀的制备方法，包括如下步骤：