[发明专利]一种涂覆游离磨料的线锯切割机

说明书

技术领域

本发明属于材料切割技术领域，涉及一种线锯切割机，特别是一种涂覆游离磨料的线锯切割机。

背景技术

在电子、通讯和光伏行业中，半导体材料（例如，硅）一直有着广泛应用。传统的加工方法是，通过内圆锯片切割棒状半导体原料，这样的加工方式无法满足大直径的半导体原料加工，并且加工过程中的原料损耗较大。随着生产技术的发展，内圆锯片切割逐步被线锯切割技术所取代，线锯切割技术是指通过一根表面镀铜的钢丝线，绕在张紧装置上，再来回绕过带有凹槽的导向轮，形成一排线网，通过张紧的线网对半导体材料进行切割。为了提高钢丝线的切割效果，可以通过电镀、树脂粘结等方法将磨料固定在钢丝线上或者在切割过程中将游离状态的磨料喷射到钢丝线表面。

现有技术中，游离状态的磨料通常选用低粘度的浆料，载体和研磨剂颗粒以一定重量比混合而组合。载体为提供润滑和冷却的液体，如矿物油、煤油、聚乙二醇、聚丙二醇或其它聚亚炕基二醇；研磨剂选用硬质材料，如碳化硅颗粒。并且，浆料在使用过之后进行回收和再次利用。例如，中国专利【申请号200980151086.5；申请公布号CN102257604A】线锯切割方法中公开的线锯切割装置，该线锯切割装置包含安装和支撑头，其适合于固持工件；线锯，其相对于安装和支撑头走位使得在操作时该工件可与该线锯接触；施加区域，其用于将线锯切割流体从再循环切割流体分配系统施加到该线锯上，该施加区域被定位且适合于将切割流体输送至该线锯，该再循环切割流体分配系统限定切割流体流动路径；线锯切割流体出口区域，其适合于引导切割流体离开线锯及固定的工件并回到该再循环切割流体分配系统中；再循环分配系统，其包含取样管线、或传感器、或者取样管线及传感器，其中，取样管线用于获得在切割过程期间的切割流体的样品以监测该切割流体的一种或多种化学和/或物理性质，传感器适合于监测切割流体的一种或多种化学和/或物理性质；以及化学添加剂进料管线，其适合于响应监测将化学品引入到再循环切割流体中以调节切割流体的化学组成以使所监测的性质的水平保持在或恢复至预定界限内。

上述线锯切割装置通过对切割流体进行物理性质和/或物理性质的检测和控制使切割流体能够进行循环利用，但是，该线锯切割装置对切割流体物理性质和/或物理性质的检测和控制的装置结构较为复杂，增加了生产成本，并且随着循环次数增加，切割流体的物理性质和/或物理性质的恢复越来越困难，最终仍会造成切割流体失效废弃，切割流体中的游离磨料的利用率依然处于较低的水平。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了涂覆游离磨料的线锯切割机，本发明解决的技术问题是提高游离磨料的利用率。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种涂覆游离磨料的线锯切割机，所述线锯切割机包括线锯、收线轮、放线轮和若干个导向轮，所述线锯一端卷绕在放线轮上，另一端卷绕在收线轮上，所述线锯在导向轮上铺设形成由一条线锯或者一条以上平行线锯组成的切割部，上述切割部上具有用于放置待加工工件的加工工位，其特征在于，本线锯切割机还包括设置在切割部处用于将浆料涂覆在加工工位进线处的线锯表面的涂覆头，上述涂覆头通过管道与存放浆料的储存罐相连，所述储存罐上设置有能使浆料通过管道流向涂覆头的输送装置。

本涂覆游离磨料的线锯切割机的原理是：在线锯切割加工过程中，通过涂覆头在线锯表面涂覆一层浆料，在线锯高速运动的过程中，浆料能更有效地附着在线锯上并被带到加工工位处，使更多的磨料作用在待加工工件的切割区域。本涂覆游离磨料的线锯切割机与常规的线锯切割机相比，由于浆料能使更多的游离磨料到达切割区域，只需通过涂覆头在线锯上涂覆很少的浆料，提高了浆料的利用率。并且，省去了浆料的回收和循环系统，使线锯切割机结构更简单。

在上述的涂覆游离磨料的线锯切割机中，所述线锯沿同一方向相对于所述加工工位进线和出线，所述涂覆头的数量为1个，且涂覆头位于加工工位的进线一侧。这样的结构应用于线锯单向运动的线锯切割机上，只需在加工工位的进线一侧设置涂覆头，线锯进入加工工位之前在其表面涂覆浆料。

作为另一种方案，在上述的涂覆游离磨料的线锯切割机中，所述线锯相对于所述加工工位做往复的切割运动，所述加工工位的两侧分别设置有涂覆头。这样的结构应用于线锯往复运动的线锯切割机上，线锯切割加工过程中，加工工位进线一侧的涂覆头对线锯涂覆浓浆，加工工位出线一侧的涂覆头不工作。