[发明专利]微位移光杠杆激光测量系统及其磁力机械式氧传感器

权利要求书

1.一种微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于，包括：

激光发生器，用于发射激光束；

光束准直器，用于准直所述激光发生器发射的激光束；

平面反射镜，用于反射所述光束准直器准直后的激光束；以及

光电检测器，用于接收所述平面反射镜反射的激光束并输出电信号；

其中，所述激光发生器包括激光二极管，所述光束准直器包括用于覆盖所述激光二极管的透明封装的底管，所述底管向上凸起形成具有竖直孔道的准直管，所述准直管的轴线与所述透明封装的轴线在同一直线上。

2.根据权利要求1所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述准直管的内壁与所述底管的内壁之间垂直过渡，任一垂直过渡的交点与所述激光二极管的发光点的连线与所述准直管的轴线之间的夹角小于9.0°。

3.根据权利要求1所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述准直管和/或所述底管的内壁光滑。

4.根据权利要求1所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述准直管的长度为8.0mm-18.0mm，所述准直管的内径为1.0mm-2.6mm。

5.根据权利要求1所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述平面反射镜的镀膜面镀有用于选择性反射所述激光发生器所发射的激光束的介质膜。

6.根据权利要求5所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述介质膜由氧化硅膜及氧化锆膜交替沉积而成。

7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：还包括用于固定所述光电检测器及用于调整所述光电检测器的位置以形成等光程检测的安装组件，所述安装组件至少包括设有横向滑槽的安装支架，所述光电检测器连接在所述安装支架上并可沿所述横向滑槽移动。

8.根据权利要求7所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述安装组件还包括底板及用于固定所述安装支架的过渡板，所述过渡板连接在所述底板上并且二者可以相对转动。

9.根据权利要求8所述的微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述过渡板设有弧形滑槽，穿过所述弧形滑槽设有用于固定所述过渡板和底板的固定件。

10.一种磁力机械式氧传感器，其特征在于：所述权利要求1至9中任一权利要求所述的微位移光杠杆激光测量系统安装于磁力机械式氧传感器。