[发明专利]太阳能电池抛光工艺

权利要求书

1.一种太阳能电池抛光工艺，包括槽体和槽体内的电解液，其特征是，所述的电解液采用10~35% 浓度的HF溶液，阳极电极直接植入滚轮上，阳极电极和槽体内的阴极电极接电源，电流控制在不大于10A, 电压控制在不大于36V,通过滚轮带液的方式对硅片背面进行抛光处理，滚轮带液转动的时候阳极电极可与硅片接触，从而使硅片形成阳极。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池抛光工艺，其特征是，所述所述电解液亦可是HF+H₃PO₄的混合溶液或碱溶液作为电解液，碱溶液为NaOH或KOH，浓度为10~50%。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池抛光工艺，其特征是，所述所述电解液采用HF溶液或HF+H₃PO₄的混合溶液时，阳极电极采用铂电极；电解液采用磷酸时，阳极电极采用金作为电极，磷酸浓度为10~50%。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池抛光工艺，其特征是，所述所述滚轮电解液中可加入醋酸或醇辅助试剂。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池抛光工艺，其特征是，所述所述与硅片接触的这部分滚轮采用惰性金属导电材料制备，并与相邻滚轮拼接。