[发明专利]非对称结构的太赫兹波一分四功分器

权利要求书

1.一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、第三信号输出端（4）、第四信号输出端（5）、基板（6）、第一S形平板（7）、第五矩形平板（8）、第六矩形平板（9）、第三S形平板（10）、第九矩形平板（11）、第十矩形平板（12）、第一矩形平板（13）、第一梯形平板（14）、第二S形平板（15）、第二矩形平板（16）、第七矩形平板（17）、第二梯形平板（18）、第三矩形平板（19）、第八矩形平板（20）、第三梯形平板（21）、第四矩形平板（22）；基板（6）上表面设有三个第一S形平板（7）、第五矩形平板（8）、第六矩形平板（9）、两个第三S形平板（10）、第九矩形平板（11）、第十矩形平板（12）、第一矩形平板（13）、第一梯形平板（14）、两个第二S形平板（15）、第二矩形平板（16）、第七矩形平板（17）、第二梯形平板（18）、第三矩形平板（19）、第八矩形平板（20）、第三梯形平板（21）、第四矩形平板（22）；第一矩形平板（13）、第一梯形平板（14）、第二矩形平板（16）、第二梯形平板（18）、第三矩形平板（19）、第三梯形平板（21）、第四矩形平板（22）顺次相连，第四矩形平板（22）右端为第三输出端（4），第一矩形平板（13）左端为信号输入端（1）；第五矩形平板（8）的左端与第一S形平板（7）的下端相连，第五矩形平板（8）的右端与两个相连的第一S形平板（7）的下端相连，第六矩形平板（9）的左端与两个相连的第一S形平板（7）的上端相连，第六矩形平板（9）的右端与基板（6）的右侧边相连，第六矩形平板（9）的右端为第一输出端（2）；左右两个向下对称的第二S形平板（15）的上端分别与第七矩形平板（17）的左右两端相连，右面一个第二S形平板（15）的下端与第八矩形平板（20）的左端相连，第八矩形平板（20）的右端与基板（6）的右侧边相连，第八矩形平板（20）的右端为第四输出端（5）；左右两个向上对称的第三S形平板（10）的下端分别与第九矩形平板（11）的左右两端相连，右面一个第三S形平板（10）的上端与第十矩形平板（12）的左端相连，第十矩形平板（12）的右端与基板（6）的右侧边相连，第十矩形平板（12）的右端为第二输出端（3）；太赫兹波从信号输入端（1）输入，分别从第一输出端（2）、第二输出端（3）、第三输出端（4）、第四输出端（5）输出。

2.根据权利要求1所述的一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于所述的第一矩形平板（13）长度为1900~1910μm，宽度为230~235μm，所述的第一梯形平板（14）长度为390~400μm，所述的第二矩形平板（16）长度为1400~1410μm，宽度为165~170μm，所述的第二梯形平板（18）长度为400~410μm，所述的第三矩形平板（19）长度为880~900μm，宽度为200~205μm，所述的第三梯形平板（21）长度为390~400μm，所述的第四矩形平板（22）长度为590~600μm，宽度为40~45μm。

3.根据权利要求1所述的一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于所述的第一S形平板（7）弯曲度为1.8度，宽度为40~45μm，第五矩形平板（8）长度为950~960μm、宽度为40~45μm，第六矩形平板（9）长度为2800~2810μm，宽度为40~45μm。

4.根据权利要求1所述的一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于所述的第二S形平板（15）弯曲度为1.8度，宽度为40~45μm，第七矩形平板（17）长度为700~710μm，宽度为40~45μm，第八矩形平板（20）长度为1850~1860μm，宽度为40~45μm。

5.根据权利要求1所述的一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于所述的第三S形平板（10）弯曲度为1.8度，宽度为40~45μm，第九矩形平板（11）长度为450~455μm，宽度为40~45μm，第十矩形平板（12）长度为800~810μm，宽度为40~45μm。

6.根据权利要求1所述的一种非对称结构的太赫兹波一分四功分器，其特征在于所述的基板（6）厚度为50~52μm，材料为二氧化硅。