[发明专利]温差致动式微阀

权利要求书

1.温差致动式微阀,包括由第一硅片（1）、第二硅片（2）和第三硅片（3）组成的阀体（8），第二硅片位于第一硅片和第三硅片之间，第一硅片和/或第三硅片设有阀口（81），所述第二硅片包括固定部（21）和可动部（22），所述可动部具有用于连通阀口的连通腔（221），所述第二硅片中设有温差致动结构（23）和连接梁（24），所述连接梁分别与温差致动结构、可动部及固定部连接，其特征在于：所述温差致动结构包括第一臂（231）、第二臂（232）、第一电极（233）和第二电极（234），所述第一臂与第二臂并排设置且相互之间具有间隙（235），第一臂的两端和第二臂的两端分别相对应，第一臂靠近连接梁的端部、第二臂靠近连接梁的端部与连接梁三者连接在一起，第一臂远离连接梁的端部与第一电极连接，第二臂远离连接梁的端部与第二电极连接，第一电极和第二电极相互绝缘且均相对阀体固定并与阀体绝缘，所述第一臂的宽度比第二臂的宽度小，第一臂延伸的路径长度大于第二臂延伸的路径长度，所述第二臂与第二电极连接的那一端的宽度小于第二臂其它部分的宽度。

2.根据权利要求1所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述连接梁包括位移放大部（241）、连接部（242）和位移传递部（243），所述位移放大部的一端与可动部连接、另一端与连接部的一端连接，所述连接部的另一端与固定部连接，所述位移传递部的一端与位移放大部的中部连接、另一端与温差致动结构连接。

3.根据权利要求2所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述位移放大部连接位移传递部的位置到位移放大部与连接部连接的这一端部的距离为S1，位移放大部连接位移传递部的位置到位移放大部与连接部连接的这一端部的距离为S2，S1>S2。

4.根据权利要求2或3所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述位移传递部沿直线L1延伸，所述温差致动结构设有2N个，N为正整数，温差致动结构两两成对关于L1对称设置并且沿L1并排设置。

5.根据权利要求4所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述位移传递部具有分叉（244）与温差致动结构连接，同一个温差致动结构的第一臂和第二臂与同一个分叉连接。

6.根据权利要求5所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述分叉沿直线延伸，分叉所在的直线相对L1倾斜。

7.根据权利要求1所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述第一臂延伸的路径为方波状或蛇形管状或锯齿波状或正弦曲线或余弦曲线。

8.根据权利要求1或7所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述第二臂沿直线延伸。

9.根据权利要求1所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述第一硅片和/或第三硅片设有与第一电极电连接的第一引出电极（E1）以及与第二电极电连接的第二引出电极（E2），第一引出电极和第二引出电极均与阀体绝缘。

10.根据权利要求1所述的温差致动式微阀，其特征在于：所述第二硅片设有通槽（25），通槽贯穿第二硅片与第一硅片连接的表面和第二硅片与第三硅片连接的表面，所述温差致动结构、连接梁和可动部设于通槽中。