[发明专利]基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置

权利要求书

1.一种基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（a）    利用常压等离子表面处理机对上PDMS模板（2-1）的下表面和下PDMS模板（2-2）的上表面进行处理，提高其与金属的结合强度，上PDMS模板（2-1）和下PDMS模板（2-2）具有贯穿群孔，且结构一致；

（b）    将上PDMS模板（2-1）的下表面与工件阳极（5）的上表面紧密贴合，下PDMS模板（2-2）的上表面与工件阳极（5）的下表面紧密贴合；

（c）    使上工具阴极（3-1）位于上PDMS模板（2-1）上方，使下工具阴极（3-2）位于下PDMS模板（2-2）下方，且上工具阴极（3-1）到上PDMS模板（2-1）的距离，等于下工具阴极（3-2）到下PDMS模板（2-2）的距离；

（d）    使工件阳极（5）和上工具阴极（3-1）分别与电源（6）正负极相连；工件阳极（5）和下工具阴极（3-2）分别与同一电源（6）正负极相连；

（e）    在上工具阴极（3-1）和上PDMS模板（2-1）之间，下工具阴极（3-2）和下PDMS模板（2-2）之间通入电解液（4），电解液通过上PDMS模板（2-1）和下PDMS模板（2-2）中的贯穿群孔到达工件阳极（5）上、下表面；

（f）    接通电源（6）进行电解加工。

2.实现权利要求1所述的基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法的装置，其特征在于：由上而下依次包括上工具阴极（3-1）、上PDMS掩模板（2-1），下PDMS掩模板（2-2）、下工具阴极（3-2），电源（6）。