[发明专利]一种在光纤光栅上溅射钯膜的温度补偿氢敏感装置在审
| 申请号： | 201310595647.9 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104656184A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 鞠洪建 | 申请（专利权）人： | 大连惟康科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/02 | 分类号： | G02B6/02 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 116014 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 光栅 溅射 温度 补偿 敏感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种在光纤光栅上溅射钯膜的温度补偿氢敏感装置，其特征在于：激光器（12）发出的一束激光通过3dB分束器（11）将其分为两路，一路通过第一个三端环行器（9）进入装在密封盒上面溅射钯膜（2）的氢敏感光纤光栅（5），由溅射钯膜（2）的氢敏感光纤光栅（5）反射回来的反射光经第一个三端环行器（9），通过光谱仪（7）接数字信号处理系统（8）；另一路通过第二个三端环行器（10）进入装在密封盒（3）内底面溅射钯膜的氢敏感参考光纤光栅（6），反射回来的反射光经第二个三端环行器（10），通过光谱仪（7）接数字信号处理系统（8）。
2.根据权利要求1所述的一种在光纤光栅上溅射钯膜的温度补偿氢敏感装置，其特征在于：溅射钯膜的氢敏感光纤光栅用导热密封胶（4）固定在导热密封盒（3）上面，光纤光栅的光纤部分留有补偿温度变化余量；溅射钯膜的氢敏感参考光纤光栅（6）用导热密封胶固定在导热密封盒内（3）底面，参考光纤光栅的光纤部分也留有余量。
3.根据权利要求1所述的一种在光纤光栅上溅射钯膜的温度补偿氢敏感装置，其特征在于：所说的钯膜（2）的厚度在10nm～30nm之间。
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