[发明专利]一种硅基光致发光膜制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种发光膜制备方法，尤其涉及一种硅基光致发光膜制备方法。

背景技术

硅酸锌是一种很好的发光基体,已经得到广泛的应用。通过在硅酸锌基体中掺入不同的杂质离子，硅酸锌可以发射出多种波长的光。掺杂的硅酸锌薄膜可以制作电致发光器件。然而目前这种硅基光致发光膜制备难度较大，而且成材率很低。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种制备简单、成材率高的硅基光致发光膜制备方法。

实现本发明目的的技术方案是：

一种硅基光致发光膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）配制1%醋酸锰、3%硝酸铽、1%醋酸锌和5%乙醇胺的溶液，溶剂为乙二醇甲醚；

（2）在60℃～80℃下磁力搅拌30min,冷却后放置1～3天老化，得到澄清的溶胶；

（3）用浸渍提拉法在基底上挂上一层湿膜，提拉速度由一个数字脉冲发生器和步进马达精确控制,提拉速度在1mm/min～100mm/min间可调；

（4）挂上湿膜的基底放置烘箱内,经80℃～120℃、30～60min后形成干膜，然后再放入高温炉中，在750℃～950℃温度下固相反应4～8h，形成发光膜。

上述技术方案，所述步骤（1）中的基底为硅片。

上述技术方案，所述步骤（2）中搅拌温度为70℃，冷却放置时间为2天。

上述技术方案，所述步骤（3）中提拉速度为50mm/min。

上述技术方案，所述步骤（4）中烘干温度为100℃，时间45min；高温炉温度为850℃，时间为6h。

采用上述技术方案后，本发明具有以下积极的效果：

本发明采用合适的掺杂剂、锌源和稳定剂配比，发光膜具有成材率高、完整性好、热稳定性和化学稳定性好的特点；发光膜生产工艺灵活,且制备方法简单，制备成本较低。

具体实施方式

（实施例1）

本发明具有一种硅基光致发光膜制备方法，包括以下步骤：

（1）配制1%醋酸锰、3%硝酸铽、1%醋酸锌和5%乙醇胺的溶液，溶剂为乙二醇甲醚；

（2）在60℃～80℃下磁力搅拌30min,冷却后放置1～3天老化,得到澄清的溶胶；

（3）用浸渍提拉法在基底上挂上一层湿膜，提拉速度由一个数字脉冲发生器和步进马达精确控制，提拉速度在1mm/min～100mm/min间可调；

（4）挂上湿膜的基底放置烘箱内，经80℃～120℃、30～60min后形成干膜,然后再放入高温炉中，在750℃～950℃温度下固相反应4～8h,形成发光膜。

优选地，所述步骤（2）中的基底为硅片。

优选地，所述步骤（2）中搅拌温度为70℃，冷却放置时间为2天。

优选地，所述步骤（3）中提拉速度为50mm/min。

优选地，所述步骤（4）中烘干温度为100℃，时间45min；高温炉温度为850℃，时间为6h。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。