[发明专利]真空蒸馏材料取料方法有效

专利信息
申请号: 201310585946.4 申请日: 2013-11-20
公开(公告)号: CN103614567A 公开(公告)日: 2014-03-05
发明(设计)人: 林红飞;贺贤汉 申请(专利权)人: 上海申和热磁电子有限公司
主分类号: C22B9/02 分类号: C22B9/02;C22B30/02;C01B19/02
代理公司: 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 代理人: 沈履君
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 真空 蒸馏 材料 方法
【说明书】:

技术领域

发明属于半导体制造领域,涉及半导体制冷器的应用,特别是一种真空蒸馏材料取料方法。

背景技术

晶棒原材料碲和锑的真空蒸馏过程中,采用圆形玻璃套筒来冷凝材料,由于蒸馏及冷凝后的原材料成圆环状紧密粘附在圆形玻璃套筒的内壁,材料的硬度又高,所以取料时非常困难:需要用不锈钢凿子将玻璃套筒内壁上的材料先凿出1条槽,再逐步使材料分成小块后才能将蒸馏后的材料取出。除了取料作业时间长外,玻璃套筒容易凿破,玻璃套筒的消耗量较大。且取料时碎料较多,有碎玻璃混入,蒸馏材料的一次产出率和良率较低。

随着真空蒸馏原材料数量的增长,生产成本的压力、生产能力的不足和良率的问题日显突出,所以提高效率和产出率迫在眉睫。

发明内容

本发明的目的在于提供一种减少取料时间,降低玻璃套筒消耗的真空蒸馏材料取料方法。

为解决上述技术问题,本发明真空蒸馏材料取料方法,其特征在于,包括如下步骤:

第一步,将需要真空蒸馏的原材料装入玻璃套筒内并紧密粘附在玻璃套筒的内壁;

第二步,将玻璃管放入玻璃套筒内与玻璃套筒的内壁贴合;

第三步,打开真空系统抽真空,打开加热装置对原材料进行真空蒸馏;

第四步,完成真空蒸馏后,先将玻璃管抽出,然后将玻璃套筒内的材料逐片取出。

本发明真空蒸馏材料取料方法在玻璃套筒内侧垂直放置一根耐高温细玻璃管,使原材料真空蒸馏后冷凝过程中在玻璃套筒内侧形成不了圆环,以方便出料。本发明真空蒸馏材料取料方法即可以提高产品良率及降低玻璃套筒的消耗,又可以提高材料蒸馏的产出率和蒸馏设备产能。

附图说明

图1为本发明真空蒸馏材料取料方法示意图。

本发明真空蒸馏材料取料方法附图中附图标记说明:

1-玻璃套筒           2-玻璃管           3-原材料

具体实施方式

下面结合附图对本发明真空蒸馏材料取料方法作进一步详细说明。

如图1所示,本发明真空蒸馏材料取料方法,其特征在于,包括如下步骤:将需要真空蒸馏的原材料3定量装入专用的蒸馏舟,并推入蒸馏炉的外套管内。将洁净的玻璃套筒1装入蒸馏炉的外套管内。在玻璃套筒1内部放入特制的耐高温玻璃管2。打开真空系统抽真空后打开加热装置,对原材料3进行真空蒸馏。真空蒸馏完成后将外套管连同玻璃套筒1和和玻璃管2拉出蒸馏炉炉膛,打开风机进行冷却。用不锈钢推钩将已凝结材料的玻璃套筒1和玻璃管2一同从外套管内钩出并平放在出料台上。先将玻璃管2轻轻抽出,后就可以将玻璃套筒1内的材料沿玻璃管2空槽处轻按后逐片取出,放置在出料盒内。取料结束后将玻璃管2和玻璃套筒1送清洗间按规定清洗干净后重复使用。

本发明真空蒸馏材料取料方法在玻璃套筒内侧垂直放置一根耐高温细玻璃管,使原材料真空蒸馏后冷凝过程中在玻璃套筒内侧形成不了圆环,以方便出料。本发明真空蒸馏材料取料方法即可以提高产品良率及降低玻璃套筒的消耗,又可以提高材料蒸馏的产出率和蒸馏设备产能。

以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明,但本发明创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

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