[发明专利]一种高强度多层膜系光电玻璃及其制备方法有效
| 申请号： | 201310585460.0 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN103590001A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 廖宁波;陈鹏飞 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/08;C23C14/35;H01L31/052;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人： | 李大刚 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 强度 多层 光电 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高强度多层膜系光电玻璃，其特征在于：包括玻璃基片（1），在玻璃基片（1）上依次设有二氧化硅层（2）、氧化铝薄膜层（3）和AZO薄膜层（4）。
2.根据权利要求1所述的高强度多层膜系光电玻璃，其特征在于：所述的二氧化硅层（2）是高纯度二氧化硅层。
3.实现前述高强度多层膜系光电玻璃的制备方法，其特征在于，按下述步骤进行：
①对玻璃基片进行预清洗；
②重复3-4遍步骤①，再在真空干燥箱中烘干；
③在真空条件下对玻璃基片进行离子束溅射清洗；
④在氩气作为工作气体的环境下，采用磁控溅射的方法将溅射靶材溅射到玻璃基片表面形成衬体，溅射靶材是二氧化硅、氧化铝和AZO，衬体是二氧化硅层、氧化铝薄膜层和AZO薄膜层。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述的步骤①中的预清洗是，先用丙酮超声清洗5分钟，然后分别用去离子水和酒精超声波清洗5分钟。
5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述的步骤④中的溅射靶材置于玻璃基片6cm，在溅射过程中衍射压强为1Pa，衍射时间为120min，衍射功率为140w-300w，衬体温度为500℃。
6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述的二氧化硅是纯度为99.99%的高纯度二氧化硅。
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