[发明专利]一种MEMS压阻式加速度计

权利要求书

1.一种MEMS压阻式加速度计，包括：衬底、边框（3）、弹性梁（2）以及通过弹性梁（2）支悬于边框（3）中心位置的主质量块（1）；所述边框（3）固定于衬底上端；其特征在于：所述一种MEMS压阻式加速度计还包括：支质量块（4）、上封帽（5）、多组压敏电阻；所述支质量块（4）设置于弹性梁（2）上，且与弹性梁（2）构成异形弹性梁结构；所述弹性梁（2）的中间部位以及弹性梁（2）与框架（3）连接处设有感测三个垂直轴向惯性力的多组压敏电阻，每个轴向上的压敏电阻连接构成惠斯通电桥；所述主质量块（1）与弹性梁（2）的厚度相等；所述上封帽（5）固定于框架（3）上端面，其内部有凹槽结构，所述主质量块（2）在凹槽内部悬空，且在感测各方向的惯性力时自由运动。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述主质量块（1）为中心对称的形状。

3.根据权利要求1或2所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述主质量块（1）采用方形，在方形的两组相对的侧面上分别设有互相垂直的弹性梁（2）。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述方形的主质量块（1）的每个侧面上分别设置两根弹性梁（2）；所述支质量块（4）将两根弹性梁（2）连接在一起。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述主质量块（1）位于xy平面，两组相对的弹性梁（2）分别沿x轴和y轴互相垂直；所述沿x轴的弹性梁（2）上设置有感受y轴的惯性力的支质量块（4），以及感测y轴的惯性力的压敏电阻，所述x轴上的压敏电阻连接构成惠斯通电桥；在沿y轴的弹性梁（2）上设置有感受x轴的惯性力的支质量块（4），以及感测x方向的惯性力的压敏电阻，所述y轴上的压敏电阻连接构成惠斯通电桥。

6.根据权利要求2所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述弹性梁（2）上设有通孔（6）。

7.根据权利要求1所述的一种MEMS压阻式加速度计，其特征在于：所述衬底和上封帽（5）为玻璃材料，所述主质量块（1）、弹性梁（2）、框架（3）和支质量块（4）为硅材料。