[发明专利]高纯安全气体源的制备方法有效
| 申请号： | 201310580359.6 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103638890A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王陆平;许从应;李英辉;马潇;朱颜;王仕华;王智 | 申请（专利权）人： | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/14 | 分类号： | B01J19/14;B01D53/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 安全 气体 制备 方法 | ||
1.高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：在充满惰性气体环境中，将金属或金属前驱体加入装有吸附剂的钢瓶之中，在惰性气体环境或真空环境下，使金属成分均匀分布在吸附剂中并将其活化为对于气体杂质具有化学活性的物质，真空脱气后将高纯安全气体充装于钢瓶内。
2.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述吸附剂为活性炭、氧化铝、氧化硅、分子筛和有孔树脂中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述金属为Ag、Cu、Cr、Al、K、Na、Li、Pd或Pt。
4.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述金属前驱体为Al（CH3）3、LiAlH4或LiBH4。
5.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述金属在吸附剂中的含量为0.001% wt～10% wt；所述金属前驱体在吸附剂中的含量为0.001% wt～10% wt。
6.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述金属和金属前驱体的活化温度为30～950℃。
7.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述惰性气体为氮气、氦气或氩气。
8.根据权利要求7所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述氮气、氦气和氩气的纯度 > 99.999%。
9.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：所述纯化后的高纯安全气体其单个含氧杂质含量低于100ppmv。
10.根据权利要求1所述的高纯安全气体源的制备方法，其特征在于：通过加热钢瓶或变化机械混合方法，摇动或滚动钢瓶使金属成分均匀分布在吸附剂中。
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