[发明专利]用于处理晶片形物品的方法和装置

权利要求书

1.一种用于晶片形物品的湿法处理的装置，其包括：

旋压卡盘，其适于将晶片形物品保持为在预定方位；

微滴生成器，其具有主体、液体入口、用于当所述晶片形物品定位在所述旋压卡盘上时将液体排放到所述晶片形物品的表面上的至少一个孔口、以及与所述主体声学地耦合以使得声能到达所述主体的围绕所述至少一个孔口的区域的至少一个换能器；

其中所述微滴生成器被构造为将液体作为单分散液体微滴喷雾通过所述至少一个孔口分送；

处理液体分送器，其相对于所述旋压卡盘和所述微滴生成器定位，从而将处理液体分送到晶片形物品的与从所述微滴生成器排出的液体相同的一侧上；以及

控制器，其被构造为与从所述处理液体分送器分送的处理液体相关地控制来自所述微滴生成器的单分散液体微滴喷雾。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括臂件，所述臂件与所述微滴生成器连接并且被构造为使所述微滴生成器沿线性或弧形路径移动，当晶片形物品安装到所述旋压卡盘上时，所述线性或弧形路径与所述晶片形物品大致平行。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个孔口具有高度h以及至少1μm且至多200μm的宽度w以使h与w的比率不大于1。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述微滴生成器还包括液体储器和用于保持压缩气体的压力容器，并且其中所述液体储器、压力容器和所述微滴生成器能够相互连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述微滴生成器还包括高压泵和液体储器，并且其中所述高压泵能够与所述液体储器以及所述微滴生成器连接。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述微滴生成器包括有至少两个孔口的至少一个线性阵列。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个孔口包含在与所述主体附接的板中。

8.根据权利要求5所述的装置，其中所述高压泵被构造为将液体增压至在2巴至50巴的范围内的压强P。

9.根据权利要求3所述的装置，其中所述宽度w从10μm至80μm。

10.用于处理晶片形物品的方法，包括：

将处理液体从处理液体分送器分送到晶片形物品的主表面上，从而在所述晶片形物品的所述主表面上形成处理液体膜；

单独地将另一液体通过形成在微滴生成器中的至少一个孔口从所述微滴生成器排出，同时在该液体通过所述至少一个孔口时将声能施加到该液体上，其中所述声能具有波长λ以使波数ka为从0.3至1，其中ka=wπ/λ，从而生成该液体的单分散微滴流；以及

使所述单分散微滴流冲击所述处理液体膜。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括使所述微滴生成器平行于晶片形物品的所述主表面移动。

12.根据权利要求10所述的方法，还包括使所述晶片形物品绕着与所述主表面大致垂直的轴线旋转，并且其中所述处理液体被分送以使受所述单分散微滴流冲击的所述处理液体膜具有不大于0.5mm的厚度。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述单分散微滴的液体具有小于或等于水的粘度的粘度。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述声能由压电换能器生成。

15.根据权利要求10所述的方法，其中所述液体通过各自具有介于10μm至80μm之间的基本相同的尺寸的多个孔口排出。