[发明专利]一种碳微球化学气相沉积的制备方法在审
| 申请号: | 201310572846.8 | 申请日: | 2013-11-18 |
| 公开(公告)号: | CN104649245A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
| 发明(设计)人: | 王祉童 | 申请(专利权)人: | 王祉童 |
| 主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82Y30/00 |
| 代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
| 地址: | 110167 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 碳微球 化学 沉积 制备 方法 | ||
1.一种碳微球化学气相沉积的制备方法,包括以下步骤:将载有0.1~1克金属酞菁的瓷舟放入反应器中,在500~650℃处热升华,在稀释气体保下, 800~1200℃受热分解,反应恒温保持5~60min后,通稀释气体使之冷却至室温得到直径为450~2000nm的碳球。
2.按权利要求1所述的制备方法,其特征在于:金属酞菁包括:酞菁铁、酞菁钴、酞菁镍、酞菁铜中的一种或几种。
3.按权利要求1所述的制备方法,其特征在于:稀释气体流速为5~200sccm。
4.按权利要求3所述的制备方法,其特征在于:稀释气体流速为10~60sccm。
5. 按权利要求1或2或3或4所述的制备方法,其特征在于:稀释气体为氢气、氩气或氢气和氩气的混合气体。
6.按权利要求5所述的制备方法,其特征在于:采用氢气和氩气的混合气体时,其摩尔比为1:1~4:1。
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