[发明专利]液压微位移驱动器及微位移装置

权利要求书

1.一种液压微位移驱动器，其特征在于，所述液压微位移驱动器至少包括：

设有内腔（18）的缸筒（13）；

密封所述缸筒（13）两端的上端盖（12）以及下端盖（15）；

位于所述上端盖上表面的球形凸台（11）；所述球形凸台的中心线与所述缸筒的中心线重合；

设置于所述下端盖（15）内与所述内腔连通的进油通道（14）以及与所述进油通道（14）导通的进油嘴（17）。

2.根据权利要求1所述的液压微位移驱动器，其特征在于，所述下端盖（15）上设有螺钉连接孔（16）。

3.根据权利要求1所述的液压微位移驱动器，其特征在于，所述上端盖（12）以及下端盖（15）与所述缸筒焊接密封。

4.根据权利要求1所述的液压微位移驱动器，其特征在于，所述缸筒（13）为圆柱形。

5.一种采用权利要求1至4任意一项所述的液压微位移驱动器形成的微位移装置，其特征在于，所述微位移装置包括

横截面为L形的机架（26）；

固定在所述机架（26）的长边的刚性下板（24）以及位于所述刚性下板上方并与该刚性下板平行的刚性上板（21）；

所述刚性上板和所述刚性下板通过两个平行的刚性支柱（23）以及位于所述刚性支柱两端的柔性铰链（22）连接；

所述机架的短边固定有与所述刚性上板（21）接触的液压微位移驱动器（28）；所述液压微位移驱动器（28）的中心线与所述刚性上板（21）平行。

6.根据权利要求5所述的微位移装置，其特征在于，所述液压微位移驱动器（28）与所述机架的短边采用联接螺钉固定。

7.根据权利要求5所述的微位移装置，其特征在于，所述刚性下板（24）与所述机架（26）的长边采用联接螺钉固定。