[发明专利]磨削装置

说明书

技术领域

本发明涉及具有能够装卸的磨削轮的磨削装置。

背景技术

对形成有半导体器件等的板状工件进行磨削的磨削装置至少由以下部分构成：保持构件，其具有保持板状工件的保持工作台；以及磨削构件，其装配有对板状工件实施磨削的磨削轮。并且，通过磨削轮来对保持在保持工作台上的板状工件进行磨削直到使该板状工件薄化为预定厚度为止。

磨削轮通过螺丝固定在旋转轴的轮座来进行使用，但是当紧固在该磨削轮下部的磨削磨具损耗时，需要将该磨削轮从轮座卸下并更换为新的磨削轮。

在磨削轮的更换作业中，松开紧固于轮座的螺丝后从轮座取下使用过的磨削轮，并将新的磨削轮安装到轮座并拧紧螺丝来进行固定。这样，在一连串的磨削轮的更换作业中，需要进行拆卸或拧紧螺丝的作业，为了将新的磨削轮可靠地固定在轮座而使用多个螺丝（例如，参照专利文献1）。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2006-224201号公报

但是，存在这样的问题：当在磨削轮相对于轮座的装卸作业中使用多个螺丝时，磨削轮的装卸作业很繁杂。

另外，当通过多个螺丝将磨削轮装配到轮座时，轮座的装配有磨削轮的装配面、和磨削轮的与该装配面接触的被装配面紧贴，有时很难卸下磨削轮。

发明内容

本发明是鉴于上述事情而完成的发明，本发明的要解决的课题在于，能够容易地进行磨削轮相对于轮座的装卸作业。

本发明的磨削装置至少具有：保持工作台，其用于保持板状工件；以及磨削构件，其用于对上述保持工作台保持的板状工件进行磨削，上述磨削构件由以下部分构成：环形形状的磨削轮，在该磨削轮上呈环状地排列有磨削磨具；轮座，其具有装配上述磨削轮的装配面；旋转轴，其与上述轮座连接，并能够以上述轮座的中心为轴使上述轮座旋转；以及磨削轮装卸构件，其将上述磨削轮装配到上述轮座以及使上述磨削轮从上述轮座脱离，上述磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2抽吸管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1抽吸管连通并且与配设在上述轮座的上述装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从上述抽吸口进行抽吸和切断上述抽吸进行切换；以及引导部，当通过上述抽吸阀的工作将上述磨削轮抽吸保持到上述轮座的上述装配面时，上述引导部将上述磨削轮引导至上述轮座的预定位置。

优选的是，上述磨削装置具有磨削液供给构件，该磨削液供给构件向装配在上述轮座上的上述磨削轮供给磨削液，上述磨削液供给构件具有：第1供给管，其与上述第1抽吸管平行地沿上述旋转轴的长度方向贯穿上述旋转轴的内部；第2供给管，其配设于上述轮座的内部，与上述第1供给管连通并与配设于上述装配面上的供给口连接；以及通液阀，其对向上述供给口流通磨削液和切断该流通进行切换，通过使上述通液阀工作能够向上述磨削轮供给磨削液，上述供给口形成为围绕上述抽吸口周围的形状，通过供给到上述供给口的磨削液来对上述轮座的装配面和装配在上述装配面上的上述磨削轮的被装配面之间的间隙进行液体密封。

优选的是，上述磨削装置具有排出阀，该排出阀与向上述第1抽吸管供给流体的供给源连接，并对从上述抽吸口排出流体和切断上述排出进行切换。

另外，优选的是，上述磨削装置具有保持维持构件，该保持维持构件对使抽吸阀工作、通过来自抽吸口的抽吸而被抽吸保持的磨削轮的保持进行维持。

发明效果

由于设置在本发明的磨削装置的磨削轮装卸构件具有：第1抽吸管，其沿旋转轴的长度方向贯穿旋转轴的内部；第2抽吸管，其与第1抽吸管连通并且与配设在轮座的装配面上的抽吸口连接；抽吸阀，其对从抽吸口进行抽吸和切断抽吸进行切换；以及引导部，其将磨削轮引导至轮座的预定位置，因此通过打开抽吸阀能够抽吸磨削轮，并能够通过引导部将磨削轮不偏移地引导到轮座的装配面并进行抽吸保持。因此，即使不使用螺丝也能够容易地进行磨削轮的装卸作业。

上述磨削装置具有向装配在轮座上的磨削轮供给磨削液的磨削液供给构件，磨削液供给构件具有：第1供给管，其与第1抽吸管平行地沿旋转轴的长度方向贯穿旋转轴的内部；第2供给管，其与第1供给管连通并且与供给口连接；以及通液阀，其对从供给口流通磨削液和切断流通进行切换，因此在板状工件的磨削中，通过打开通液阀，能够向供给口供给磨削液，并且能够对形成于轮座的装配面和磨削轮的被装配面之间的间隙进行液体密封来封闭该间隙。因此，能够防止在板状工件的磨削中产生的磨削屑等侵入到形成于磨削轮的被装配面和轮座的装配面之间的间隙，磨削轮不会过度紧贴于轮座，从而能够从轮座容易地卸下磨削轮。