[发明专利]声表面波传感器频率-温度解析时域算法

权利要求书

1.声表面波传感器频率-温度解析时域算法，其特征在于：它包括如下步骤：

步骤1：确定声表面波传感器的固有频率f₀；

步骤2：使声表面波传感器的反射频率f等于固有频率f₀；

步骤3：确定温度与反射频率之间的关系，所述的声表面波传感器的频率与温度之间的关系可用如下公式来表示：f₀(T)= f₀(T₀)[1+a_f⁽¹⁾(T- T₀)+ a_f⁽²⁾(T- T₀)²+ a_f⁽³⁾(T- T₀)³+……]，其中，a_f^(i)w为参考温度T₀下i阶温度系数；

步骤4：根据温度与反射频率之间的关系得出温度值。

2.根据权利要求1所述的声表面波传感器频率-温度解析时域算法，其特征在于：步骤1中由以下公式来确定：f₀=V_S/2L,其中V_S为声表面波在压电材料中的传播速度，L为声表面波传感器的电极间的间距。

3.根据权利要求1所述的声表面波传感器频率-温度解析时域算法，其特征在于：步骤3中，声表面波传感器在-25^oC-100 ^oC温度范围内的温度系数如下：a_f⁽¹⁾=31*10^-6/ ^oC，a_f⁽²⁾=-2.1*10^-14 oC。

4.根据权利要求3所述的声表面波传感器频率-温度解析时域算法，其特征在于：步骤3中，忽略2阶以上项，可将声表面波传感器的频率与温度之间的关系可用如下公式来表示：f₀(T)= f₀(T₀)[1+a_f⁽¹⁾(T- T₀)+ a_f⁽²⁾(T- T₀)²]。