[发明专利]一种氧化铝抛光液的制备方法有效
| 申请号： | 201310567464.6 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103589344A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王良咏;刘卫丽;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 抛光 制备 方法 | ||
1.一种氧化铝抛光液的制备方法，包括以下步骤：
（1）将氧化铝粉末经搅拌分散于酸性水溶液中，形成酸性氧化铝分散液；
（2）加热搅拌条件下，滴加硅酸盐水溶液，滴加完毕后停止加热；
（3）继续搅拌陈化即得。
2.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，所述氧化铝粉末的粒径为0.01-40um。
3.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述酸性水溶液为pH调节剂的水溶液，所述pH调节剂选自磷酸、硝酸、硫酸、乙酸、柠檬酸、盐酸和酒石酸。
4.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，所述硅酸盐的通式为M2O.SiO2，其中M为Li+、Na+、K+或NH4+。
5.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤（1）中所述酸性氧化铝分散液中氧化铝的浓度为0.1～40wt%，pH值为1～4。
6.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，所述硅酸盐水溶液的浓度为0.1～5wt%。
7.如权利要求6所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，常压搅拌加热并保持沸腾，然后以1～200ml/min的速率加入硅酸盐水溶液。
8.如权利要求7所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，所述硅酸盐水溶液和所述酸性氧化铝分散液的质量之比为1:2～1:100。
9.如权利要求1所述的一种氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，所述搅拌陈化的时间为0.5-24小时。
10.一种由权利要求1-9任意一种制备方法制得的氧化铝抛光液。
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