[发明专利]电感耦合等离子体处理装置

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体处理装置，其对矩形的基板实施电感耦合等离子体处理，所述电感耦合等离子体处理装置的特征在于，具备：

收容基板的处理室；

用于在所述处理室内的配置基板的区域生成电感耦合等离子体的高频天线；和

配置在生成所述电感耦合等离子体的等离子体生成区域与所述高频天线之间，与基板对应地设置的呈矩形的金属窗，

所述金属窗以电绝缘的方式被分割成包括长边的第一区域和包括短边的第二区域，其中，所述第二区域的径向的宽度a与所述第一区域的径向的宽度b之比a/b为0.8以上1.2以下的范围。

2.如权利要求1所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述金属窗具有：从该金属窗的四角在45°±6°的方向上延伸的4条第一分割线；和将所述第一分割线中分别夹着所述短边的2条第一分割线相交的2个交点连结的、与所述长边平行的第二分割线，由这些第一分割线和第二分割线分割成所述第一区域和所述第二区域。

3.如权利要求2所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述4条第一分割线分别从所述金属窗的四角在45°的方向上延伸。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述高频天线以在与所述金属窗对应的面内沿所述金属窗的周方向回转走线的方式设置。

5.如权利要求1至4中任一项所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述第一区域和所述第二区域中的至少一方以相互电绝缘的方式在与周方向交叉的方向上被分割。

6.如权利要求1至4中任一项所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述金属窗进一步以相互电绝缘的方式在周方向上被分割。

7.如权利要求6所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述在周方向上被分割的区域进一步以电绝缘的方式在与周方向交叉的方向上被分割。

8.如权利要求7所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述在周方向上被分割的区域的在与周方向交叉的方向上的分割数，随着向所述金属窗的周缘部分去而增多。

9.如权利要求5至8中任一项所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述高频天线具有多个天线部，该多个天线部以在与所述金属窗对应的面内，与所述在周方向上被分割的区域的各个区域对应地回转走线的方式设置。

10.如权利要求1至9中任一项所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述高频天线被施加1MHz以上27MHz以下的高频。