[发明专利]一种激光微加工设备系统

权利要求书

1.一种激光微加工设备系统，其特征在于：包括工控机（1）和与所述工控机（1）相接的运动控制卡（2）、激光调Q控制卡（5），所述运动控制卡（2）的输出端与轴驱动模块（3）相接，所述轴驱动模块（3）由用于驱动工作台X轴方向运动的X轴驱动模块（3-1）、用于驱动工作台Y轴方向运动的Y轴驱动模块（3-2）、用于驱动激光器Z轴方向运动的Z轴驱动模块（3-3）和用于驱动激光器θ轴旋转运动的θ轴驱动模块（3-4）构成，所述X轴驱动模块（3-1）由X轴驱动器（3-11）和X轴电动机（3-12）构成，所述Y轴驱动模块（3-2）由Y轴驱动器（3-21）和Y轴电动机（3-22）构成，所述Z轴驱动模块（3-3）由Z轴驱动器（3-31）和Z轴电动机（3-32）构成，所述θ轴驱动模块（3-4）由θ轴驱动器（3-41）和θ轴电动机（3-42）构成，所述X轴电动机（3-12）和Y轴电动机（3-22）均与工作台（4）连接，工作台（4）上的X轴光栅尺和Y轴光栅尺均与运动控制卡（2）电连接，所述Z轴电动机（3-32）和θ轴电动机（3-42）均与激光器（7）连接，激光器（7）上的Z轴光栅尺和θ轴光栅尺均与运动控制卡（2）电连接，所述激光器（7）主要由激光发生器（7-1）、第一全反射镜（7-2）、第二全反射镜（7-3）和聚光透镜（7-4）构成，所述第一全反射镜（7-2）布设在激光发生器（7-1）的传输光路上，所述第二全反射镜（7-3）布设在第一全反射镜（7-2）的反射光路上，所述聚光透镜（7-4）布设在第二全反射镜（7-3）的反射光路上；所述激光调Q控制卡（5）的输出端连接有控制激光发生器（7-1）的Q开关驱动器（6），所述Q开关驱动器（6）的输出端与激光发生器（7-1）连接，水冷机（8）与激光发生器（7-1）相接。

2.按照权利要求1所述的一种激光微加工设备系统，其特征在于：所述X轴驱动器（3-11）、Y轴驱动器（3-21）、Z轴驱动器（3-31）和θ轴驱动器（3-41）均为伺服驱动器。

3.按照权利要求1所述的一种激光微加工设备系统，其特征在于：所述X轴电动机（3-12）、Y轴电动机（3-22）、Z轴电动机（3-32）和θ轴电动机（3-42）均为伺服电动机。