[发明专利]一种机械手自动示教系统及方法在审
| 申请号: | 201310562249.7 | 申请日: | 2013-11-11 |
| 公开(公告)号: | CN104626147A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
| 发明(设计)人: | 王继周;张爽 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号: | B25J9/16 | 分类号: | B25J9/16;B25J13/08;B25J11/00 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
| 地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 机械手 自动 系统 方法 | ||
1.一种机械手自动示教系统,其特征在于:
机械手无线通信模块连接机械手控制器,接收机械手控制器发出的控制信号,与机械手控制器进行通信;
机械手连接机械手无线通信模块,接收机械手无线通信模块的控制信号,移动到目标位置;
无线通信晶圆工具连接机械手,接收控制信号后进行图像识别。
2.根据权利要求1所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:
所述无线通信晶圆工具包括晶圆工具无线通信模块、CPU模块、FPGA模块和摄像头;
所述晶圆工具无线通信模块一端连接机械手,另一端连接CPU模块,用于与机械手和CPU模块通信;
所述CPU模块连接FPGA模块,将信号发送到FPGA模块,得到位置信息;
所述摄像头连接所述FPGA模块,用于图像采样。
3.根据权利要求2所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:所述摄像头包括第一摄像头、第二摄像头、第三摄像头和第四摄像头。
4.根据权利要求3所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:
所述第一摄像头置于无线通信晶圆工具的边缘,对应示教对象中心位置,用于对示教对象的水平边进行图像采样;
所述第二摄像头和第三摄像头置于无线通信晶圆工具的边缘,且分别置于第一摄像头两侧,用于对示教对象的垂直侧边进行图像采样;
所述第四摄像头置于无线通信晶圆工具的中心,用于对示教对象的平面图形进行采样。
5.根据权利要求2所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:还包括充电电池内置于无线通信晶圆工具,用于给无线通信晶圆工具提供电源。
6.一种机械手自动示教方法,其特征在于:
机械手控制器发出的信号通过机械手无线通信模块发送给机械手,将无线通信晶圆工具调整到机械手的指定位置;
机械手控制器发出的指令通过机械手无线通信模块发送给机械手,驱动机械手移动到指定位置;
无线通信晶圆工具接收机械手控制器发出的控制指令,进行模型识别,得出识别结果后反馈到机械手控制器;
机械手控制器对识别结果进行判断,并对识别结果进行保存。
7.根据权利要求6所述的一种机械手自动示教方法,其特征在于:无线通信晶圆工具的识别过程包括:
晶圆工具无线通信模块接收机械手控制器的信号,通过摄像头进行图像采样;
CPU模块接收图像信号,将采集到的图像信号实时处理后发送到FPGA模块进行模型识别,并计算得出识别结果;
晶圆工具无线通信模块接收识别结果,并把识别结果反馈给机械手控制器。
8.根据权利要求6所述的一种机械手自动示教方法,其特征在于:机械手控制器对识别结果的判断过程包括:
如果能够正确识别,则将识别结果信息中的位置信息进行保存;
如果不能够正确识别,则继续发送控制指令,重复控制过程。
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