[发明专利]一种机械手自动示教系统及方法在审

专利信息
申请号: 201310562249.7 申请日: 2013-11-11
公开(公告)号: CN104626147A 公开(公告)日: 2015-05-20
发明(设计)人: 王继周;张爽 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: B25J9/16 分类号: B25J9/16;B25J13/08;B25J11/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 机械手 自动 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种机械手自动示教系统,其特征在于:

机械手无线通信模块连接机械手控制器,接收机械手控制器发出的控制信号,与机械手控制器进行通信;

机械手连接机械手无线通信模块,接收机械手无线通信模块的控制信号,移动到目标位置;

无线通信晶圆工具连接机械手,接收控制信号后进行图像识别。

2.根据权利要求1所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:

所述无线通信晶圆工具包括晶圆工具无线通信模块、CPU模块、FPGA模块和摄像头;

所述晶圆工具无线通信模块一端连接机械手,另一端连接CPU模块,用于与机械手和CPU模块通信;

所述CPU模块连接FPGA模块,将信号发送到FPGA模块,得到位置信息;

所述摄像头连接所述FPGA模块,用于图像采样。

3.根据权利要求2所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:所述摄像头包括第一摄像头、第二摄像头、第三摄像头和第四摄像头。

4.根据权利要求3所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:

所述第一摄像头置于无线通信晶圆工具的边缘,对应示教对象中心位置,用于对示教对象的水平边进行图像采样;

所述第二摄像头和第三摄像头置于无线通信晶圆工具的边缘,且分别置于第一摄像头两侧,用于对示教对象的垂直侧边进行图像采样;

所述第四摄像头置于无线通信晶圆工具的中心,用于对示教对象的平面图形进行采样。

5.根据权利要求2所述的一种机械手自动示教系统,其特征在于:还包括充电电池内置于无线通信晶圆工具,用于给无线通信晶圆工具提供电源。

6.一种机械手自动示教方法,其特征在于:

机械手控制器发出的信号通过机械手无线通信模块发送给机械手,将无线通信晶圆工具调整到机械手的指定位置;

机械手控制器发出的指令通过机械手无线通信模块发送给机械手,驱动机械手移动到指定位置;

无线通信晶圆工具接收机械手控制器发出的控制指令,进行模型识别,得出识别结果后反馈到机械手控制器;

机械手控制器对识别结果进行判断,并对识别结果进行保存。

7.根据权利要求6所述的一种机械手自动示教方法,其特征在于:无线通信晶圆工具的识别过程包括:

晶圆工具无线通信模块接收机械手控制器的信号,通过摄像头进行图像采样;

CPU模块接收图像信号,将采集到的图像信号实时处理后发送到FPGA模块进行模型识别,并计算得出识别结果;

晶圆工具无线通信模块接收识别结果,并把识别结果反馈给机械手控制器。

8.根据权利要求6所述的一种机械手自动示教方法,其特征在于:机械手控制器对识别结果的判断过程包括:

如果能够正确识别,则将识别结果信息中的位置信息进行保存;

如果不能够正确识别,则继续发送控制指令,重复控制过程。

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