[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及致动装置无效
| 申请号： | 201310560206.5 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103802478A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 矢崎士郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 以及 | ||
1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：
第一电极，其被设置于基板上方；
压电体层，其被设置于该第一电极上方；
第二电极，其被设置于该压电体层上方，
所述压电体层具有有源部和无源部，其中，所述有源部被所述第一电极和所述第二电极夹持，且至少一端部通过所述第二电极而被规定，所述无源部被设置于，与所述第二电极的对所述有源部进行规定的端部相比靠外侧的位置处，且厚度薄于所述有源部，
所述无源部通过倾斜面而与所述有源部连续，
所述第二电极具有压缩应力。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述第二电极具备第一层和第二层，所述第一层被设置于所述压电体层侧，所述第二层被设置于该第一层的与所述压电体层相反的一侧，且所述第二层的材料与所述第一层不同。
3.如权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，
所述第一层含有氧化铱及氧化钛，所述第二层含有铱。
4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述第二电极构成以横跨多个有源部的方式而连续设置的共用电极。
5.如权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，
所述第二电极的厚度在15nm以上且25nm以下。
6.一种液体喷射装置，其特征在于，
具备权利要求1至5中任一项所述的液体喷射头。
7.一种致动装置，其特征在于，具备：
第一电极，其被设置于基板上方；
压电体层，其被设置于该第一电极上方；
第二电极，其被设置于该压电体层上方，
所述压电体层具有有源部和无源部，其中，所述有源部被所述第一电极和所述第二电极夹持，且至少一端部通过所述第二电极而被规定，所述无源部被设置于，与所述第二电极的对所述有源部进行规定的端部相比靠外侧的位置处，且厚度薄于所述有源部，
所述无源部通过倾斜面而与所述有源部连续，
所述第二电极具有压缩应力。
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