[发明专利]一种定量修补装置及其自动图像修补方法在审
| 申请号: | 201310558815.7 | 申请日: | 2013-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN104638204A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
| 发明(设计)人: | 杨旸;刘洋;胡贤夫;陈宁;施文峰 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H04N7/18 |
| 代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 程殿军 |
| 地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 定量 修补 装置 及其 自动 图像 方法 | ||
1.一种定量修补装置,其特征在于,其包括有激光源、衰减器、镜头,及比对控制单元,该激光源电连接该比对控制单元,该激光源发出的激光经由该衰减器及镜头入射至待测基底表面,该待测基底表面具有异物,该异物具有一定高度,该比对控制单元获取该异物及异物周围区域的待测基底表面的图像,并根据图像中异物处灰度值与周围区域灰度值比对后的差值控制该激光源输出与停止,该激光源输出激光时对异物进行轰击以修补该待测基底表面。
2.如权利要求1所述的定量修补装置,其特征在于,所述比对控制单元包括光源、摄像机及与摄像机连接的计算机,该计算机同时连接所述激光源,该光源发出的光束照射到该待测基底表面,经该待测基底表面反射后由该摄像机接收,并获得异物及异物周围区域的待测基底表面的图像,该摄像机将该图像传输给该计算机,由该计算机对该图像中异物处灰度值与周围区域灰度值比对并控制该激光源输出激光与停止。
3.如权利要求2所述的定量修补装置,其特征在于,所述衰减器与镜头之间的光路上设有分光镜,该分光镜的反射面一侧设有自动对焦单元,由所述衰减器出射的激光直接透过该分光镜入射至待测基底表面,并由待测基底表面反射后再由分光镜反射至该自动对焦单元。
4.如权利要求2所述的定量修补装置,其特征在于,所述衰减器与所述镜头之间的光路上设置有反射镜,所述激光源与所述衰减器的光轴同该反射镜的法线呈45°角。
5.如权利要求4所述的定量修补装置,其特征在于,所述反射镜与所述镜头之间的光路上设置有分光镜,所述反射镜的镜面与该分光镜的镜面垂直,且由所述反射镜反射的激光直接由该分光镜透射至待测基底表面。
6.一种利用权利要求2-5任意一项所述的定量修补装置实现的自动图像修补方法,其特征在于,该方法包括:
步骤一、获取待测基底表面的异物及异物周围区域的待测基底表面的图像,光源发出的光束照射到待测基底表面,经过待测基底表面反射后由摄像机接收,摄像机将获取的异物及异物周围区域的待测基底表面的图像传输给计算机,计算机得到需要加工的区域的图形;
步骤二、对步骤一中获取的图像进行扫描,扫描至灰度值相同的区域,计算机控制激光源不进行激发,该区域为异物周围待测基底便面的正常区域;当扫描到达灰度值不同的区域,计算机控制激光源输出激光开始进行轰击,该轰击区域为待修补的异物区域;
步骤三、在完成一次扫描后,重复步骤二与步骤三,摄像机重新拍摄图像并将新的灰度值传输到计算机,计算机进行分析并进行第二次扫描轰击、第三次扫描轰击直至修补完成,形成自动修补,当修补区域灰度值与正常区域灰度值相同,或修补区域灰度值初次小于正常区域灰度值或修补区域灰度值初次大于正常区域灰度值,或修补区域灰度值初次出现拐点时修补完成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





