[发明专利]一种减速电极驱动装置

权利要求书

1.一种减速电极驱动装置，包括：X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)、真空模块(3)、真空电极引线模块(4)、冷却模块(5)，其特征在于：两驱动机构集成在同一滑动板上，结构紧凑，传动效率高。

2.如权利要求1所述的一种减速电极驱动装置，X轴驱动机构(1)包括伺服电机、同步带和同步带轮、电位计、光电行程开关、丝杆、导向杆等，其特征在于运行平稳，便于控制；不产生侧向力，保证真空密封性；光电行程开关防止到达机械死限位时损坏电机。

3.如权利要求1所述的一种减速电极驱动装置，Z轴驱动机构(2)采用伺服电机驱动同步带和同步带轮，同步带轮驱动丝杆运动，将旋转运动转换成直线运动，进而实现对Z向运动产生很大的推力，克服密封圈产生的摩擦阻力；在固定板上配有直线导轨，其特征在于保障平稳的直线运动的同时，又能实现对位置的精确控制；安装在组件上的直线电位计和光电行程开关防止到达机械死限位时损坏电机并易于控制。

4.如权利要求1所述的一种减速电极驱动装置，真空电极引线模块(4)由绝缘电极座、引出接线头、密封圈、弹簧和接线柱等组成，其特征在于能够承受电极较高电压，真空密封，使用寿命长，便于安装。

5.如权利要求1所述的一种减速电极驱动装置，冷却模块(5)负责冷却减速电极驱动装置，降低减速电极高温向减速电极驱动装置的传热，防止密封圈因高温失效。